Tá cruinneas lanna innill aerárthaigh bainteach le feidhmíocht fhoriomlán an mheaisín, agus tá an tomhas comhrian tríthoiseach ag an leibhéal 0.1μm ina riachtanas lárnach déantúsaíochta. Tá sé deacair ardáin thraidisiúnta na caighdeáin a chomhlíonadh. Soláthraíonn ardáin eibhir, lena dtrí phríomhbhuntáiste, tacaíocht iontaofa le haghaidh braite beacht.
Tógann cobhsaíocht theirmeach bunús beacht. Níl ach (4-8) ×10⁻⁶/℃ i gcomhéifeacht leathnú teirmeach eibhir, atá níos mó ná 60% níos ísle ná comhéifeacht leathnú teirmeach miotal. Faoi luaineacht teochta de ±1℃, is lú ná 0.008μm an t-athrú méide ar ardán 1 mhéadar ar fhad, rud a fhéadann dromchla tagartha tairiseach a sholáthar do threalamh ar nós inteirféaraiméadair léasair agus meaisíní tomhais trí chomhordanáid, rud a sheachnaíonn carnadh earráidí tomhais de bharr dífhoirmithe theirmigh. Idir an dá linn, sroicheann a dlús 2.6-2.8g/cm³, sáraíonn a neart comhbhrúite 200MPa, tá sé frithsheasmhach in aghaidh caitheamh, agus cinntíonn sé nach n-athraíonn an cruinneas le linn úsáide fadtéarmach.
Friotaíocht chreatha den scoth agus aonrú trasnaíochta comhshaoil. Creathann an cheardlann eitlíochta go minic. Fágann struchtúr criostail uathúil an eibhir go sroicheann a chóimheas maolaithe 0.05-0.1, atá 5-10 n-uaire níos mó ná miotal. Is féidir leis níos mó ná 90% den fhuinneamh creatha a mhaolú laistigh de 0.3 soicind. Ag glacadh an tomhais le rianaitheoir léasair mar shampla, nuair a chuirtear le chéile é le hardán eibhir, is féidir an fhritháireamh bhíoma léasair a rialú laistigh de ±0.02μm, rud a fheabhsaíonn cruinneas tomhais earráidí próifíl na lanna go suntasach.
Feabhsaíonn comhtháthú na ceardaíochta beachtais agus na hintleachta éifeachtúlacht. Tar éis próiseála thar a bheith beachtais amhail snasú maighnéadreolaíoch, sroicheann cothromaíocht an ardáin eibhir ±0.1μm/m, agus is é ≤0.02μm an garbh-dhromchla Ra. Tar éis é a chomhcheangal le rialóirí grátála nanoscála agus halgartaim AI, sroicheann an cruinneas tomhais aonphointe 0.05μm, laghdaítear an earráid fhoriomlán go ±0.1μm, méadaítear an éifeachtúlacht bhrath 30%, agus sroicheann an ráta braite lochtanna 99.9%.
Cosnaíonn ardáin eibhir, lena bhfeidhmíocht chobhsaí agus iontaofa, tomhas beacht lanna innill aerárthaigh, cuireann siad uasghrádú cruinneas déantúsaíochta eitlíochta chun cinn, agus cabhraíonn siad leis an tionscal airde nua a bhaint amach.
Am an phoist: 22 Bealtaine 2025