I réimse an táirgthe tionsclaíoch bheacht agus an taiscéalaíochta taighde eolaíoch ceannródaíoch, tá ardán eibhir, lena fheidhmíocht seismeach den scoth, ina threalamh ríthábhachtach chun forbairt réidh oibríochtaí éagsúla ardchruinnis a chinntiú. Soláthraíonn a chaighdeán rátála dian turraing-dhíonach ráthaíocht iontaofa do go leor cásanna oibre atá thar a bheith íogair do chreathadh.
Ar dtús, bunús cinntiúcháin ghrád cruthúnas crith talún ardán eibhir
Saintréithe ábhair: Tá ardán eibhir déanta as eibhear nádúrtha, tar éis na milliúin bliain de phróisis gheolaíocha, tá an struchtúr criostail inmheánach eagraithe go dlúth agus an-aonfhoirmeach. Tugann an struchtúr uathúil seo ráta an-íseal athraithe modúl leaisteacha don eibhear, agus nuair a bhíonn sé faoi réir turraing, i gcomparáid le hábhair choitianta eile amhail miotal, is féidir leis a dhífhoirmiú leaisteach a rialú i raon an-bheag. De réir chinneadh institiúidí tástála údarásacha, níl an dífhoirmiú leaisteach ar eibhear sa timpeallacht tástála creatha caighdeánach ach 1/10-1/20 de dhífhoirmiú leaisteach ábhair mhiotail ghnáth, rud a leagann bunús ábhartha soladach do fheidhmíocht seismeach ardleibhéil an ardáin.
Dearadh struchtúrach: Ó thaobh an mhaicristruchtúir de, tá an t-ardán eibhir deartha le cruth geoiméadrach agus leagan amach tacaíochta optamaithe. Déantar cóimheas fad-leithead-airde foriomlán an ardáin a ríomh go cúramach chun lárionad domhantarraingthe cobhsaí a chinntiú agus an baol crith de bharr creathadh a laghdú. Ag an am céanna, déantar dáileadh na bpointí tacaíochta a phleanáil go heolaíoch de réir phrionsabail na meicnic, rud a fhéadann meáchan na réad atá curtha ar an ardán agus an fórsa tionchair a ghintear ag creathadh seachtrach a dháileadh go cothrom. Mar shampla, san ardán eibhir mór, úsáidtear an struchtúr tacaíochta ilphointe, agus rialaítear an earráid achair idir na pointí tacaíochta cóngaracha laistigh de ±0.05mm, rud a sheachnaíonn tiúchan struis áitiúil go héifeachtach agus a fheabhsaíonn cumas seismeach an ardáin tuilleadh.
2. Táscairí mionsonraithe agus cásanna feidhmchláir gach leibhéal atá frithsheasmhach in aghaidh turraing
Caighdeán turraingdhíonach Leibhéal I (cásanna riachtanas cruinneas thar a bheith ard)
Innéacs díláithrithe creatha: Laistigh de raon minicíochta creatha tonnta seismeacha insamhalta (0.1Hz-100Hz), ní sháraíonn buaicluach an díláithrithe creatha ag aon suíomh ar dhromchla an ardáin 0.001mm. Nuair a chuirtear isteach ar an gcreathadh ísealminicíochta a ghintear trí oibriú an innealra mhóir máguaird (amhail creathadh an uirlis mheaisín throm ag minicíocht de thart ar 1Hz-10Hz), agus na hionstraimí tomhais optúla ardchruinneas a chuirtear ar an ardán, amhail micreascópacht fórsa adamhach, bíonn an t-athrú díláithrithe coibhneasta idir an tóireadóir tomhais agus an sampla tomhaiste neamhbhríoch, rud a chinntíonn nach ndéantar difear do chruinneas an tomhais ag an nanoscála.
Cás feidhme: Úsáidtear é go príomha i bpróiseas litagrafaíochta déantúsaíochta sceallóga leathsheoltóra. Éilíonn déantúsaíocht sceallóga cruinneas litagrafaíochta thar a bheith ard, agus tá leithead na líne sroichte ag an leibhéal nanaiméadar. Sa phróiseas litagrafaíochta, ní mór don ardán eibhir tacaíocht chobhsaí a sholáthar don mheaisín litagrafaíochta, an creathadh a ghintear trí oibriú trealaimh eile sa cheardlann a leithlisiú, agus aistriú cruinn an phatrúin litagrafaíochta a chinntiú, rud a fheabhsaíonn toradh déantúsaíochta sceallóga go mór. De réir staitisticí tionscail, tá méadú 15%-20% tagtha ar an toradh i gcomparáid le húsáid ardáin ghnáth mar gheall ar úsáid líne déantúsaíochta sceallóga a chomhlíonann an caighdeán ardáin eibhir atá frithsheasmhach in aghaidh turraing den chéad leibhéal.
Caighdeán frith-turraing Leibhéal 2 (cás ardchruinnis)
Innéacs díláithrithe creatha: faoi mhinicíocht creatha 0.1Hz-100Hz, rialaítear buaic-díláithriú creatha dhromchla an ardáin laistigh de 0.005mm. I gcás turgnaimh bhrath cáithníní micreascópacha a dhéantar i saotharlanna taighde eolaíochta in ollscoileanna, amhail turgnaimh micreascóp tollánaithe scanála (STM), is féidir leis an leibhéal feidhmíochta turraing-dhíonach seo a chinntiú go bhfuil an suíomh coibhneasta idir barr an STM agus an sampla cobhsaí fiú má tá foinsí creatha traidisiúnta áirithe ann amhail pearsanra ag bogadh timpeall na saotharlainne agus trealamh ag bogadh timpeall na saotharlainne. Dá bhrí sin, gabhtar faisnéis staid chandamach na gcáithníní micreascópacha go cruinn, rud a thugann ráthaíocht do thaighdeoirí sonraí turgnamhacha cruinne a fháil.
Cás feidhme: Úsáidtear go forleathan é i ndéantúsaíocht ionstraimí cruinne ardleibhéil, amhail próiseas dífhabhtaithe táirgthe cothromaíochta leictreonaí ardchruinneas. Tá cothromaíochtaí leictreonacha thar a bheith íogair do chreathadh, agus is féidir le creathadh beag fiú dialltaí a chur faoi deara i dtorthaí tomhais. Is féidir leis an ardán eibhir, a chomhlíonann an caighdeán cruthúnas turraing dara leibhéal, timpeallacht chobhsaí a sholáthar le haghaidh calabrú agus coimisiúnú an chothromaíochta leictreonaigh, a chinntiú go sroicheann cruinneas tomhais an chothromaíochta an leibhéal micreagraim, agus freastal ar éileamh an tionscail maidir le cruinneas tomhais ardmheáchain amhail sainaithint chógaisíochta agus seodra.
Caighdeán trí leibhéal atá frithsheasmhach in aghaidh turraing (cás ardchruinnis)
Innéacs díláithrithe creatha: sa raon minicíochta creatha 0.1Hz-100Hz, ní mó ná 0.01mm an díláithriú creatha buaic ar dhromchla an ardáin. Agus an creathadh a ghintear trí oibriú trealaimh mheánmhéide atá coitianta i gceardlanna monarchan á láimhseáil (is gnách go mbíonn an minicíocht creatha 10Hz-50Hz), is féidir leis an ngnáththrealamh tomhais a chuirtear ar an ardán eibhir, amhail an ionstraim tomhais chomhordanáidí, cruinneas an tomhais a choinneáil cobhsaí, agus rialaítear diall na sonraí tomhais laistigh de raon an-bheag.
Cás feidhme: Oiriúnach le haghaidh tomhas cruinn i ndéantúsaíocht páirteanna gluaisteán. Bíonn tionchar díreach ag cruinneas meaisínithe bhloc sorcóra innill gluaisteán, fearas tarchuir agus páirteanna eile ar fheidhmíocht agus iontaofacht na ngluaisteán. Agus na páirteanna seo á dtomhas, is féidir le hardán eibhir na dtrí fheidhmíocht turraingdhíonach creathadh reatha an trealaimh cheardlainne a leithlisiú go héifeachtach, chun a chinntiú go dtomhaiseann an ionstraim tomhais comhordanáidí méid na bpáirteanna, lamháltais foirme agus suímh agus paraiméadair eile go cruinn, chun tacaíocht láidir a sholáthar do rialú cáilíochta páirteanna gluaisteán, agus ráta pas táirgthe páirteanna gluaisteán a fheabhsú.
Trí, tástáil cháilíochta dhian chun a chinntiú go gcomhlíonann an leibhéal crith talún an caighdeán
Chun a chinntiú go gcomhlíonann gach ardán eibhir na caighdeáin ghrád crith talún comhfhreagracha, tá sraith córas cigireachta cáilíochta dian agus foirfe bunaithe againn. Sa phróiseas táirgthe, déantar tástáil chuimsitheach ar airíonna fisiciúla ar gach píosa amhábhar eibhir chun a chinntiú go bhfuil a struchtúr inmheánach aonfhoirmeach agus gan lochtanna soiléire. Tar éis próiseáil an ardáin a bheith críochnaithe, úsáidtear an trealamh tástála insamhalta creatha chun timpeallachtaí creatha casta éagsúla a insamhladh chun an t-ardán a thástáil. Tríd an braiteoir díláithrithe léasair ardchruinneas, déantar monatóireacht fhíor-ama ar athruithe díláithrithe gach pointe ar dhromchla an ardáin le linn an phróisis chreathaidh, agus tarchuirtear na sonraí chuig córas próiseála sonraí gairmiúil le haghaidh anailíse. Ní cheadaítear iad a chur ar an margadh ach amháin nuair a bhíonn táscairí creatha an ardáin i gcomhréir go hiomlán leis na caighdeáin ghrád crith talún comhfhreagracha.
I mbeagán focal, is é an t-ardán eibhir lena chaighdeáin ghrád eolaíocha turraing-dhíonacha, feidhmíocht turraing-dhíonach den scoth agus rialú cáilíochta dian, le haghaidh táirgeadh tionsclaíoch agus obair thaighde eolaíoch in oibríochtaí ardchruinneas chun tacaíocht chobhsaí fíor-riachtanach a sholáthar, an tóir ar chruinneas agus ar iontaofacht deiridh an rogha.
Am an phoist: 28 Márta 2025