I hallaí ciúine saotharlanna calabrúcháin, seomraí glana leathsheoltóra, agus seomraí meitreolaíochta aeraspáis, tá réabhlóid chiúin ar siúl. Ní bogearraí ná braiteoirí amháin atá á thiomáint - ach na hábhair chéanna a chruthaíonn bunús an tomhais féin. I dtús cadhnaíochta an athraithe seo tá ionstraimí tomhais ceirmeacha chun cinn, lena n-áirítear an rialóir díreach aeir ceirmeach thar a bheith cobhsaí agus an sileacan-charbíd (Si-SiC) ardchruinneas thar a bheith docht, atá comhthreomhar agus cearnach. Ní uirlisí amháin iad seo; is cumasóirí ré nua iad ina bhfuil cobhsaíocht, in-athdhéantacht, agus neodracht theirmeach neamh-idirbheartaithe.
Ar feadh breis agus leathchéad bliain, bhí eibhear dubh i réim sa mheadreolaíocht chruinnis. A bhuíochas dá mhaolú nádúrtha, a leathnú teirmeach íseal, agus a chothromúlacht den scoth, ba é an t-ábhar ba mhó a roghnaíodh le haghaidh plátaí dromchla, cearnóga, agus imill dhíreacha. Ach de réir mar a bhrúnn tionscail isteach i lamháltais fo-mhicróin agus fiú nanaiméadar - go háirithe i litagrafaíocht leathsheoltóra, optaic spáis, agus ríomhaireacht chandamach - tá teorainneacha eibhear ag éirí níos soiléire. Tá sé trom, so-ghabhálach do mhicrishliseanna faoi theagmháil arís agus arís eile, agus, in ainneoin a cháil, taispeánann sé fós creep beag fadtéarmach faoi ualach nó luaineacht comhshaoil.
Cuir criadóireacht innealtóireachta ar fáil anois: ní criadóireacht bhriste an tsamhlaíochta laethúla, ach ábhair dlútha, aonchineálacha, ardfheidhmíochta atá brionnaithe faoi theas agus brú foircneach. I measc na n-ábhar seo, seasann dhá rang amach le haghaidh feidhmeanna méadreolaíochta: alúmana ard-íonachta (Al₂O₃) agus cairbíd sileacain nasctha le himoibriú (Si-SiC). Cé go dtugann an dá cheann feabhsuithe suntasacha ar ábhair thraidisiúnta, tá róil ar leith acu - agus le chéile, is ionann iad agus imeall ceannródaíoch an méid is féidir a bhaint amach i méadreolaíocht thoisíneach.
Mar shampla, glac an rialóir díreach aeir ceirmeach. Deartha lena úsáid le céimeanna aeir nó le inteirféaraiméadair optúla, éilíonn an ionstraim seo díreachacht beagnach foirfe, mais íosta, agus gan aon ghluaiseacht theirmeach.rialóirí ceirmeacha—meaisínithe go cothrom agus díreach laistigh de ±0.5 µm thar 500 mm agus snasta go garbh dromchla faoi bhun Ra 0.02 µm—seachadann siad sin go díreach. Laghdaíonn a ndlús íseal (~3.6 g/cm³) táimhe i gcórais tomhais dhinimiciúla, agus cuireann a nádúr neamh-mhaighnéadach, neamhsheoltach deireadh le cur isteach i dtimpeallachtaí leictreonacha nó maighnéadacha íogaire. In uirlisí cigireachta vaiféir nó i socruithe calabrúcháin rianaithe léasair, áit ar féidir le fiú micrón bogha torthaí a shaobhadh, soláthraíonn an rialóir díreach aeir ceirmeach tagairt chobhsaí, táimhe a fhanann fíor trasna luascáin teochta agus timthriallta oibríochta.
Ach nuair a bhíonn déine agus seoltacht theirmeach den scoth ag teastáil—amhail in ailíniú scáthán teileascóp spáis nó i méadreolaíocht chuas léasair ardchumhachta—casann innealtóirí ar chomhpháirteanna comhthreomhar agus cearnacha ardchruinneas de charbaíd sileacain (Si-SiC). Tá Si-SiC i measc na n-ábhar is déine ar a bhfuil eolas againn, le modúl Young atá níos mó ná 400 GPa—níos mó ná trí huaire níos mó ná cruach—agus seoltacht theirmeach atá inchomparáide le alúmanam. Go ríthábhachtach, is féidir a chomhéifeacht leathnú teirmeach (CTE) a innealtóireacht chun meaitseáil le gloiní optúla nó sliseoga sileacain, rud a chuireann ar chumas leathnú difreálach beagnach nialasach i dtionóil hibrideacha. Ní hamháin go gcoimeádfaidh cearnóg Si-SiC a úsáidtear mar thagairt mháistir in uirlis litagrafaíochta EUV a foirm—cuirfidh sé i gcoinne saobhadh ó théamh nó creathadh áitiúil go gníomhach.
Ní hé an t-ábhar amháin a fhágann go bhfuil na héachtaí seo indéanta, ach máistreacht ar mhonarú ionstraimí tomhais ceirmeacha. Mar shampla, chun meaisínithe beacht Si-SiC a dhéanamh, teastaíonn rothaí meilte diamant, ardáin CNC fo-mhicróm, agus próisis lapála ilchéime a dhéantar i dtimpeallachtaí teochta-rialaithe. Is féidir le fiú strus beag iarmharach ó shintéiriú míchuí a bheith ina chúis le coganta iar-mheaisínithe. Sin é an fáth nach gcomhtháthaíonn ach cúpla monaróir domhanda sintéis ábhar, foirmiú beacht, agus méadreolaíocht chríochnaitheach faoi aon díon amháin - cumas a scarann fíortháirgeoirí grád méadreolaíochta ó sholáthraithe ceirmeacha ginearálta.
Ag ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG), tá an comhtháthú ingearach seo lárnach dár misean. Déantar ár n-ionstraimí tomhais ceirmeacha—lena n-áirítear samhlacha rialóra díreacha aeir ceirmeacha atá deimhnithe go DIN 874 Grád AA agus déantáin chomhthreomharphíopaithe agus chearnógacha ardchruinneas de charbaíd sileacain (Si-Si-C) atá inrianaithe go caighdeáin PTB agus NIST—a tháirgeadh i seomraí glana Aicme ISO 7 ag baint úsáide as prótacail shintéirithe agus chríochnaithe dílseánaigh. Déantar bailíochtú iomlán inteirfeirméadrach, fíorú CMM ar lamháltais gheoiméadracha (cothromúlacht, comhthreomhaireacht, ingearachacht), agus tástáil sláine dromchla ar gach comhpháirt roimh an loingsiú. Is é an toradh déantán grád tagartha nach gcomhlíonann sonraíochtaí amháin—sháraíonn sé iad go comhsheasmhach trasna baisceanna.
Tá an t-éileamh ar fheidhmíocht den sórt sin ag méadú go mór. I ndéantúsaíocht leathsheoltóra, éilíonn córais litagrafaíochta EUV agus ard-NA struchtúir ailínithe atá cobhsaí laistigh de na deicheanna nanaiméadar thar achair mhéadair - rud nach féidir a dhéanamh gan sineirgíocht theirmeach-mheicniúil Si-SiC. San aeraspás, cinntíonn binse optúla satailíte déanta le tagairtí ceirmeacha cobhsaíocht ar an bhfithis in ainneoin timthriallú teirmeach foircneach. Fiú i réimsí atá ag teacht chun cinn cosúil le braiteadh tonnta imtharraingthe nó forbairt cloig adamhach, áit a bhfuil cobhsaíocht ar leibhéal piciméadair tábhachtach, tá déantáin mhéadreolaíochta ceirmeacha agus Si-SiC ag éirí riachtanach.
Go ríthábhachtach, tugann na huirlisí seo aghaidh ar inbhuanaitheacht agus ar chostas iomlán úinéireachta freisin. Cé gur féidir leis an infheistíocht tosaigh i bpáirceapóid sileacain-charbíde ardchruinneas a bheith níos mó ná saolré eibhir, is féidir a shaolré seirbhíse a bheith 5-10 n-uaire níos faide i dtimpeallachtaí ardúsáide. Ní gá olaíocht a chur air, seasann sé i gcoinne gach tuaslagóra agus plasma coitianta, agus ní gá athchalabrú a dhéanamh air riamh mar gheall ar ionsú taise - murab ionann agus iarann teilgthe nó fiú roinnt eibhir. I gcás bainisteoirí cáilíochta a oibríonn faoi chaighdeáin AS9100, ISO 13485, nó SEMI, aistrítear an iontaofacht seo go díreach i laghdú ar am neamhfhónaimh, níos lú torthaí iniúchóireachta, agus muinín níos mó ó chustaiméirí.
Ina theannta sin, níor cheart neamhaird a dhéanamh d’ealaíneacht aeistéitiúil agus feidhmiúil na n-ionstraimí seo. Lonraíonn cearnóg Si-SiC snasta le snasta miotalach ach tá sé níos lú ná cruach. Mothaíonn rialóir díreach aeir ceirmeach soladach ach ardaíonn sé gan stró - iontach le haghaidh fíorú láimhe i spásanna daingean. Tá na cáilíochtaí seo atá dírithe ar an duine tábhachtach i saotharlanna fíorshaoil ina mbíonn tionchar ag eirgeanamaíocht agus éascaíocht úsáide ar an sreabhadh oibre laethúil.
Mar sin, an bhfuil ionstraimí tomhais ceirmeacha ag athshainiú cruinneas thar a bheith ard? Tá an freagra sna sonraí—agus sa liosta méadaitheach de cheannairí domhanda a shonraíonn iad mar chaighdeán anois. Ó institiúidí náisiúnta méadreolaíochta a bhailíochtú caighdeáin faid an chéad ghlúin eile go soláthraithe Leibhéal 1 a dheimhníonn comhpháirteanna tiomána EV, tá an t-athrú soiléir: nuair is gá éiginnteacht a íoslaghdú, bíonn muinín ag innealtóirí as ceirmeach innealtóireachta.
Agus tionscail ag leanúint lena máirseáil gan staonadh i dtreo rialaithe ar scála adamhach, tá fírinne amháin ag éirí doshéanta: ní bheidh todhchaí na tomhais snoite as cloch ná teilgthe i miotal. Déanfar é a shintéiriú, a mheilt agus a snasú i gceirmeach - agus i gcarbíd sileacain.
Is nuálaí aitheanta ar fud an domhain é ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) i réitigh mhéadreolaíochta ceirmeacha agus sileacain-charbíde ultra-chruinneas. Ag speisialú in ionstraimí tomhais ceirmeacha, rialóir díreach aeir ceirmeach, agus comhpháirteanna comhthreomhar agus cearnacha ardchruinneas sileacain-charbíde (Si-SiC), seachadann ZHHIMG déantáin lán-dheimhnithe, grád saotharlainne d'fheidhmchláir leathsheoltóra, aeraspáis, cosanta, agus taighde eolaíochta. Le tacaíocht ó dheimhnithe ISO 9001, ISO 14001, agus CE, tá muinín ag príomhfhiontair theicneolaíochta ar fud an domhain as ár dtáirgí. Féach ar ár bpunann mhéadreolaíochta chun cinn agwww.zhhimg.com.
Am poist: 05 Nollaig 2025