I saol na déantúsaíochta ardchruinnis—áit a gcrapann lamháltais faoi bhun 5 mhicrón agus a théann bailchríocha dromchla i dtreo cháilíocht optúil—caithfidh na huirlisí a mbraitheann muid orthu forbairt thar an traidisiún. Le blianta fada anuas, bhí cruach agus eibhear i réim ar bhinse na méadreolaíochta. Ach de réir mar a théann tionscail cosúil le trealamh leathsheoltóra, optaic aeraspáis, agus micrea-ghléasanna leighis i bhfeidhm ar réimsí ina dtugann fiú drift theirmeach nó caitheamh micreascópach earráid doghlactha isteach, tá rang nua uirlisí tagartha ag teacht chun cinn: iad siúd nach bhfuil déanta as miotal ná cloch, ach as criadóireacht theicniúil ardteicniúil.
Ag ZHHIMG, táimid tar éis bogadh níos faide ná díreach tairiscint a dhéanamhRialóir Díreach Ceirmeachnó táirgí Rialóir Cearnógach Ceirmeach. Táimid ag athshainiú cad is imeall díreach ann—trí ábhair cheirmeacha thar a bheith cobhsaí a chomhcheangal le dearadh ceannródaíoch, lena n-áirítear ár rialóir snámhach aeir Ceirmeach Saincheaptha ceannródaíoch, réiteach a chuireann deireadh le teagmháil mheicniúil go hiomlán agus a sheachadann in-athdhéantacht ar leibhéal nanaiméadar.
Cén fáth criadóireacht? Tosaíonn an freagra ag an leibhéal móilíneach. Murab ionann agus cruach—a leathnaíonn go suntasach le teocht—nó eibhear—a fhanann scagach agus ilghnéitheach in ainneoin a chobhsaíochta—níl aon scagach, cruas eisceachtúil (1400–1800 HV), agus comhéifeachtaí leathnúcháin theirmeacha chomh híseal le 3–4 µm/m·°C i gceist le criadóireacht innealtóireachta cosúil le alúmana cruaite le siorcóinia (ZTA) agus níotráit sileacain. Ciallaíonn sé seo go gcoinníonn Imeall Díreach Ceirmeach ó ZHHIMG a gheoiméadracht trasna luascáin teochta a chuirfeadh uirlisí traidisiúnta as a riocht faoi roinnt micrón.
Ach ní leor ábhar amháin. Is é an rud a fhágann go bhfuil ár rialóirí ceirmeacha difriúil ó chéile ná cruinneas a ndéantúsaíochta. Trí mheilt diamant, snasú faoi bhun an chró, agus bailíochtú inteirfeirméadrach léasair a úsáid i seomraí glana ISO Aicme 5, bainimid amach lamháltais dhíreacha níos fearr ná 0.8 µm thar 500 mm - fíoraithe ní hamháin ag an seachadadh, ach doiciméadaithe i dtuarascálacha calabrúcháin iomlána atá inrianaithe go caighdeáin NIST agus PTB.Rialóir Cearnógach Ceirmeachdéantar tástáil ingearachachta air trí uath-choilíniú leictreonach, ag cinntiú go gcoinnítear uillinneacha laistigh de 1 stua-soicind (diall ≈0.5 µm ag 100 mm).
Ní sonraíochtaí teoiriciúla iad seo. Is réaltachtaí oibríochtúla iad do chliaint nach bhfuil in acmhainn comhréiteach a dhéanamh a thuilleadh. Úsáideann príomhsholáthraí comhpháirteanna litagrafaíochta EUV ár Rialóir Díreach Ceirmeach anois go heisiach chun frámaí tacaíochta scáthán a ailíniú. “Lúbadh rialóirí cruach le linn timthriallta nochta fada,” a dúirt a bpríomh-mhéadreolaí linn. “Thóg eibhear cáithníní. An leagan ceirmeach? Tá sé cobhsaí le 18 mí - níl aon athchalabrú ag teastáil.”
Ach is féidir fiú geoiméadracht foirfe a chur i mbaol trí theagmháil. Tarraing rialóir trasna dromchla, agus tá baol ann go ndéanfaidh tú micriscríobtha, cur isteach ar scannán ola, nó dífhoirmiú leaisteach - go háirithe ar mhiotail bhoga nó ar optaic snasta. Sin an áit a bhfuil nuálaíocht ZHHIMG ag léim chun cinn leis an rialóir snámhach aeir saincheaptha Ceirmeach.
Ní imeall díreach ceirmeach le poill druileáilte ann amháin atá anseo. Is córas aerastatach lán-innealtóireachta é, atá deartha ag baint úsáide as dinimic sreabhach ríomhaireachtúil chun sreabhadh aeir aonfhoirmeach, laminar a sheachadadh ar fud fhad iomlán an rialóra. Nuair a chuirtear brú air le haer glan, tirim (nó nítrigin i dtimpeallachtaí íogaire), snámhann an rialóir 5–10 micrón os cionn an phíosa oibre—ag deireadh a chur le teagmháil fhisiciúil agus ailíniú foirfe á choinneáil. An toradh? Fíor-thomhas neamh-theagmhála le haghaidh fíorú cothromaíochta, díreachachta, nó airde céime, le hinathdhéantacht síos go ±0.2 µm.
Úsáideann saotharlann ríomhaireachta chandamach amháin san Eilvéis rialóir snámhach aeir Ceirmeach Saincheaptha 600 mm anois chun iompróirí sliseanna forsheoltacha a iniúchadh. “Cuireann aon teagmháil—fiú le stíl bhog—strus isteach a athraíonn feidhmíocht an chiúbit,” a mhínigh a n-innealtóir próisis. “Tugann an rialóir ceirmeach snámhach aeir an tagairt atá de dhíth orainn gan teagmháil a dhéanamh leis an gcuid. Tá sé ríthábhachtach don mhisean anois.”
Is é comhtháthú uathúil ZHHIMG ar shaineolas eolaíochta ábhar, meaisínithe beachtais, agus méadreolaíochta a fhágann gur féidir é seo a dhéanamh. Cé go gcaitheann go leor soláthraithe le criadóireacht mar chomhpháirteanna struchtúracha, déanaimid iad a bharrfheabhsú mar shaothair tomhais. Áirítear ar ár ndearaí Rialóir Cearnógach Ceirmeach imill chamferáilte chun scealpadh a chosc, cúltacaí bailchríoch neamhlonracha chun glare a laghdú faoi shoilsiú cigireachta, agus marcóirí fiducial roghnacha do chórais fís uathoibrithe. I gcás feidhmeanna seomra glan, snastar dromchlaí go Ra < 0.02 µm chun greamaitheacht cáithníní a íoslaghdú.
Agus toisc go bhfuil gach feidhmchlár difriúil, ní chreidimid i réiteach amháin a oireann do chách. An bhfuil Imeall Díreach Ceirmeach le cainéil folúis leabaithe ag teastáil uait chun sliseáin tanaí a choinneáil le linn cigireachta? Tá sé tógtha againn. An bhfuil gá le...rialóir cearnachle poill tríd ailínithe le barr do tóireadóir CMM? Déanta. Ar mhaith leat rialóir snámhach aeir ceirmeach saincheaptha le braiteoirí brú comhtháite agus aiseolas leibhéalta digiteach? Tá sé sin i dtástáil béite cheana féin le cliant aeraspáis Leibhéal 1.
Tá aitheantas tionscail tagtha ina dhiaidh sin. In Athbhreithniú Domhanda Ard-Méadreolaíochta 2025, luadh ZHHIMG mar an t-aon chuideachta a thairg teaghlach iomlán uirlisí tagartha ceirmeacha deimhnithe - lena n-áirítear malairtí snámhacha - le bailíochtú geoiméadrach iomlán agus inrianaitheacht dhigiteach. Ach níos tábhachtaí fós, tá an glacadh ag luasghéarú: tagann breis is 60% dár n-orduithe rialóra ceirmeacha anois ó thionscail a mheas uirlisí den sórt sin a bheith "ró-mhór" roimhe seo - go dtí gur thomhais siad an difríocht.
D’athraigh gnólacht nuathionscanta feistí leighis a bhí ag táirgeadh ionchlannáin néaracha ó chruach go dtí ár Rialóir Cearnógach Ceirmeach agus chonaic siad a dtáirgeacht chéad-phas ag léim 22%. “D’fhág an sean-chearnóg micrea-ghoigíní ar thithe tíotáiniam,” a dúirt a mbainisteoir QA. “Níor thuig muid fiú é go dtí gur athraíomar. Anois, téann gach cuid thar seiceálacha amhairc agus tríthoiseacha ar an gcéad iarracht.”
Mar sin, agus tú ag measúnú do chéad uasghrádú méadreolaíochta eile, cuir an cheist seo ort féin: An bhfuil mo chiumhais dhíreach reatha ag cur leis an éiginnteacht—nó ag fáil réidh léi?
Más rud é go n-oibríonn do phróiseas ar imeall na hinbhraiteachta, d'fhéadfadh an freagra a bheith i gceirmeacht - ní mar rud nua, ach mar riachtanas. Ag ZHHIMG, ní hamháin go ndéanaimid Rialóir Díreach Ceirmeach, Rialóir Cearnógach Ceirmeach, nó uirlisí Imeall Díreach Ceirmeach a mhonarú. Déanaimid muinín a innealtóireacht i ngach micrón.
Am poist: 31 Nollaig 2025