I réimsí na déantúsaíochta beachtais agus an taighde eolaíoch, is táscaire ríthábhachtach é cothromaíocht ardáin bheachtais eibhir chun cruinneas trealaimh a chinntiú. Seo a leanas réamhrá mionsonraithe ar roinnt modhanna braite príomhshrutha agus a nósanna imeachta oibríochta duit.
I. Modh braite inteirféariméadar léasair
Is é an t-idirfhearaiméadar léasair an uirlis is fearr le haghaidh braiteadh cothromaíochta ardchruinneas. Glac an t-idirfhearaiméadar léasair ZYGO GPI XP mar shampla, is féidir lena réiteach 0.1nm a bhaint amach. Agus an braiteadh á dhéanamh, ailínigh foinse solais an idirfhearaiméadair leis an ardán ar dtús agus roinn dromchla an ardáin ina limistéir eangaí 50mm × 50mm. Ina dhiaidh sin, bailíodh na sonraí imeall trasnaíochta pointe ar phointe, agus rinneadh na sonraí a fheistiú agus a anailísiú ag baint úsáide as polainéim Zernike chun an earráid chothromaíochta a fháil. Tá an modh seo infheidhme maidir le hardáin ardchruinneas agus is féidir leis earráidí cothromaíochta ≤0.5μm/m² a bhrath. Úsáidtear go coitianta é i mbrath meaisíní fótailitagrafaíochta agus ardáin meaisín tomhais trí chomhordanáid ardleibhéil.
II. Modh Eagar Leibhéal Leictreonach
Tá an braiteoir eagar leibhéalta leictreonach simplí le húsáid agus thar a bheith éifeachtach. Roghnaíodh an leibhéal leictreonach TESA A2 (le taifeach de 0.01μm/m) agus socraíodh é in eagar 9 × 9 feadh threo ais X/Y an ardáin. Trí shonraí claonta gach leibhéil a bhailiú go sioncrónach agus ansin an modh cearnógach is lú a úsáid le haghaidh ríomha, is féidir an luach cothromaíochta a fháil go cruinn. Is féidir leis an modh seo coinníollacha cuasacha agus comhtharraingthe áitiúla an ardáin a aithint go héifeachtach. Mar shampla, is féidir luaineacht de 0.2μm laistigh de raon 50mm a bhrath freisin, atá oiriúnach le haghaidh braite tapa i dtáirgeadh mais.
III. Modh criostail chomhréidh optúil
Tá an modh criostail chomhréidh optúil oiriúnach chun ardáin bheaga a bhrath. Ceangail an criostal comhréidh optúil go docht leis an dromchla atá le tástáil ar an ardán agus breathnaigh ar na himill trasnaíochta a fhoirmítear eatarthu faoi shoilsiú foinse solais monacrómatach (amhail lampa sóidiam). Má tá na stríoca díreacha comhthreomhara, léiríonn sé cothrom maith. Má tá stríoca cuartha le feiceáil, ríomh an earráid cothrom bunaithe ar mhéid cuartha na stríoca. Léiríonn gach stríoc cuartha difríocht airde de 0.316μm, agus is féidir na sonraí cothroma a fháil trí chomhshó simplí.
Ceithre. Modh cigireachta meaisín tomhais trí chomhordanáid
Is féidir leis an meaisín tomhais trí chomhordanáid tomhas ardchruinnis a bhaint amach i spás tríthoiseach. Cuir an t-ardán eibhir ar bhord oibre an mheaisín tomhais agus bain úsáid as an tóireadóir chun sonraí a bhailiú go haonfhoirmeach ó phointí tomhais iolracha ar dhromchla an ardáin. Próiseálann agus anailísíonn córas an mheaisín tomhais na sonraí seo chun tuarascáil cothromaíochta den ardán a ghiniúint. Ní hamháin gur féidir leis an modh seo cothromaíocht a bhrath, ach paraiméadair gheoiméadracha eile den ardán a fháil ag an am céanna, agus tá sé oiriúnach chun ardáin mhóra eibhir a bhrath go cuimsitheach.
Is féidir le máistreacht a dhéanamh ar na modhanna braite seo cabhrú leat cothromaíocht an ardáin bheachtais eibhir a mheas go cruinn agus ráthaíocht iontaofa a sholáthar maidir le hoibriú cobhsaí trealaimh bheachtais.
Am an phoist: 29 Bealtaine 2025