I réimse na déantúsaíochta ardleibhéil agus an taighde eolaíoch ceannródaíoch, tá an modúl gluaiseachta ultra-chruinneas den snámhán aeir ina threalamh ríthábhachtach le haghaidh oibriú agus tomhas mín lena fheidhmíocht chruinneas den scoth. Tá ceanglais dhiana ag baint leis an mbonn cruinneas eibhir, mar chroílár tacaíochta, don timpeallacht oibre, agus is iad na coinníollacha comhshaoil oiriúnacha an bunús chun a fheidhmíocht chobhsaí agus an éifeacht is fearr a chinntiú.
Ar dtús, rialú teochta: "cobhsaitheoir" beachtais
Cé go bhfuil eibhear aitheanta as a chobhsaíocht, níl sé go hiomlán díolmhaithe ó athruithe teochta. Cé go bhfuil a chomhéifeacht leathnúcháin theirmigh íseal, de ghnáth 5-7 ×10⁻⁶/℃, i gcásanna rialaithe gluaisne ultra-chruinnis, féadfaidh luaineachtaí teochta beaga athruithe tríthoiseacha a chur faoi deara agus tionchar a imirt ar chruinneas an mhodúil. Sa cheardlann déantúsaíochta sliseanna leathsheoltóra, éilíonn an próiseas litagrafaíochta cruinneas suímh ar leibhéal danami, agus luainíonn an teocht chomhthimpeallach faoi 1 ° C, agus féadfaidh bonn eibhir le fad taobh 1 mhéadar leathnú nó crapadh líneach de 5-7 micrón a tháirgeadh. Déantar an t-athrú beag seo a tharchur ag an modúl gluaisne ultra-chruinnis den snámhán aeir, atá leordhóthanach chun diall patrún litagrafaíochta an tslis a dhéanamh agus an toradh a laghdú go mór. Dá bhrí sin, má tá bonn cruinneas eibhir ar mhodúl gluaiseachta ultra-chruinneas snámhphointe aeir, ba cheart an teocht timpeallachta oibre idéalach a rialú ag 20 °C ± 1 °C, le cabhair ó threalamh teochta tairiseach ardchruinneas, amhail córas aerchóirithe teochta tairiseach agus taise, monatóireacht agus coigeartú leanúnach ar an teocht chomhthimpeallach, chun a chinntiú go bhfuil na luaineachtaí teochta i raon an-bheag, cobhsaíocht mhéid an bhoinn a choinneáil, chun oibriú ardchruinneas an mhodúil a chinntiú.
Ar an dara dul síos, bainistíocht taise: an eochair chun "cloch" a chosaint ó thaobh taise de
Is fachtóir tábhachtach eile é an taise a théann i bhfeidhm ar fheidhmíocht bonn eibhir beachtais. I dtimpeallacht ard-taise, is furasta gal uisce a ionsú ag eibhear, rud a d'fhéadfadh comhdhlúthú a bheith mar thoradh air ar an dromchla, rud a théann i bhfeidhm ní hamháin ar chobhsaíocht nasc an eibhir agus modúl gluaiseachta ultra-chruinneas an tsnámhóra aeir, ach a d'fhéadfadh creimeadh dromchla a chur faoi deara freisin agus snasta agus cruinneas a laghdú san fhadtréimhse. Sa cheardlann meilt lionsaí optúla, má tá an taise níos airde ná 60%RH ar feadh i bhfad, cuirfidh an gal uisce atá ionsúite ar dhromchla bhonn an eibhir isteach ar ghluaiseacht sleamhnán an tsnámhóra gáis, rud a laghdaíonn cruinneas meilt an lionsa, agus a fhágann go bhfuil an dromchla lochtach. Dá bhrí sin, ba cheart taiseachas coibhneasta na timpeallachta oibre a rialú go docht idir 40%-60%RH, agus is féidir é seo a mhonatóiriú agus a choigeartú i bhfíor-am trí dhí-thaiseoirí, braiteoirí taise agus trealamh eile a shuiteáil chun damáiste don bhonn eibhir mar gheall ar ard-taise a sheachaint, agus oibriú réidh an mhodúil gluaiseachta ultra-chruinneas den tsnámhóra aeir a chinntiú.
Sa tríú háit, ráthaíocht glaineachta: "caomhnóir" na cruinneas
Ní féidir an dochar a dhéanann cáithníní deannaigh do bhonn eibhir bheachtais an mhodúil ghluaiseachta ultra-bheachtais snámhachta aeir a mheas faoina luach. Chomh luath agus a théann na cáithníní beaga bídeacha isteach sa bhearna scannáin gháis idir sleamhnán an snámháin gháis agus bonn an eibhir, féadfaidh siad aonfhoirmeacht an scannáin gháis a scriosadh, frithchuimilt a mhéadú, agus fiú dromchla an bhoinn a scríobadh, rud a laghdaíonn cruinneas gluaiseachta. I gceardlann meaisínithe ultra-bheachtais páirteanna aeraspáis, má thiteann na cáithníní deannaigh san aer ar bhonn an eibhir, féadfaidh treocht ghluaiseachta an uirlis meaisínithe a bheith claonta, rud a théann i bhfeidhm ar chruinneas meaisínithe na gcodanna. Dá bhrí sin, ba cheart an limistéar oibre a choinneáil glan go han-mhaith, ag baint amach leibhéil 10,000 nó níos airde de chaighdeáin glaineachta, trí threalamh íonúcháin aeir a shuiteáil, amhail scagairí aeir ardéifeachtúlachta (HEPA), chun na cáithníní deannaigh san aer a scagadh amach, agus ag an am céanna, ní mór don fhoireann éadaí saor ó dheannach, clúdaigh bróg, srl. a chaitheamh, chun an deannach a thugann daoine leo a laghdú. Coinnigh timpeallacht oibriúcháin ard-bheachtais bonn eibhir agus modúl gluaiseachta ultra-bheachtais snámháin aeir.
Ceathrú, aonrú creathaidh: oibriú réidh an "eochaircheap turraing"
Is é an creathadh seachtrach namhaid chruinneas an mhodúil ghluaisne ultra-chruinneas den snámhán aeir. Cé go bhfuil cumas maolaithe creathadh áirithe ag an mbonn eibhir cruinneas, féadfaidh an creathadh ard-neart a theorainn maoláin a bhriseadh fós. Déantar an creathadh a ghineann an trácht timpeall na monarchan agus oibriú trealaimh mheicniúla mhóir a tharchur chuig an mbonn eibhir tríd an talamh, rud a chuirfidh isteach ar chruinneas gluaisne an mhodúil ghluaisne ultra-chruinneas den snámhán aeir. I CMM ard-deireadh, féadfaidh creathadh an teagmháil idir an tóireadóir tomhais agus an píosa oibre atá le tomhas a bheith éagobhsaí, rud a fhágann diall sna sonraí tomhais. Chun an fhadhb seo a réiteach, is gá bearta aonraithe creathadh éifeachtacha a ghlacadh, amhail ceapacha aonraithe creathadh a leagan sa limistéar suiteála trealaimh, bunús aonraithe creathadh a thógáil, nó córas aonraithe creathadh gníomhach a úsáid chun creathadh seachtrach a fhritháireamh go gníomhach, agus timpeallacht oibre chiúin agus chobhsaí a chruthú don bhonn cruinneas eibhir agus don mhodúl gluaiseachta ultra-chruinneas den snámhán aeir.
Trí chomhlíonadh iomlán a dhéanamh ar riachtanais chomhshaoil na teochta, na taise, na glaineachta agus an rialaithe creatha, ní féidir le bonn cruinneas eibhir an mhodúil ghluaisne ultra-chruinneas den snámhán aeir a buntáistí feidhmíochta a bhaint amach go hiomlán, ráthaíocht iontaofa a sholáthar d'oibríochtaí ultra-chruinneas i réimsí éagsúla, agus cabhrú leis an tionscal bogadh i dtreo leibhéal déantúsaíochta agus taighde eolaíochta níos airde cruinneas.
Am an phoist: 08 Aibreán 2025