I réimse na déantúsaíochta leathsheoltóirí, mar an trealamh lárnach a chinneann cruinneas an phróisis déantúsaíochta sceallóga, tá cobhsaíocht thimpeallacht inmheánach an mheaisín fótailitagrafaíochta ríthábhachtach. Ó spreagadh an fhoinse solais ultraivialait mhór go dtí oibriú an ardáin ghluaiseachta beachtais nanoscála, ní féidir aon diall is lú a bheith i ngach nasc. Léiríonn bunáiteanna eibhir, a bhfuil sraith airíonna uathúla acu, buntáistí gan sárú maidir le hoibriú cobhsaí meaisíní fótailitagrafaíochta a chinntiú agus cruinneas fótailitagrafaíochta a fheabhsú.
Feidhmíocht sciath leictreamaighnéadach den scoth
Tá taobh istigh meaisín fótailitagrafaíochta lán le timpeallacht leictreamaighnéadach chasta. Mura ndéantar rialú éifeachtach ar chur isteach leictreamaighnéadach (EMI) a ghintear ag comhpháirteanna amhail foinsí solais ultraivialait mhóra, mótair tiomána, agus soláthairtí cumhachta ardmhinicíochta, beidh tionchar mór aige ar fheidhmíocht comhpháirteanna leictreonacha beachtais agus córas optúil laistigh den trealamh. Mar shampla, d’fhéadfadh cur isteach dialltaí beaga a chur faoi deara i bpatrúin na fótailitagrafaíochta. I bpróisis déantúsaíochta ardleibhéil, is leor é seo chun naisc thrasraitheora míchearta ar an sliseanna a bheith mar thoradh air, rud a laghdaíonn toradh na sliseanna go suntasach.
Is ábhar neamh-mhiotalach é eibhear agus ní sheolann sé leictreachas leis féin. Níl aon feiniméan ionduchtaithe leictreamaighnéadaigh ann de bharr gluaiseacht leictreon saor istigh mar atá i gcás ábhair mhiotalacha. Fágann an tréith seo gur comhlacht sciath leictreamaighnéadach nádúrtha é, ar féidir leis cosán tarchuir trasnaíochta leictreamaighnéadaigh inmheánaigh a bhac go héifeachtach. Nuair a scaipeann an réimse maighnéadach malartach a ghintear ag an bhfoinse trasnaíochta leictreamaighnéadaigh sheachtrach go dtí bonn an eibhir, ós rud é nach bhfuil an t-eibhear maighnéadach agus nach féidir é a mhaighnéadú, bíonn sé deacair an réimse maighnéadach malartach a threá, rud a chosnaíonn comhpháirteanna lárnacha an mheaisín fótailigrafaíochta atá suiteáilte ar an mbonn, amhail braiteoirí beachtais agus gléasanna coigeartaithe lionsa optúla, ó thionchar trasnaíochta leictreamaighnéadaigh agus a chinntíonn cruinneas aistrithe patrún le linn an phróisis fótailigrafaíochta.
Comhoiriúnacht folúis den scoth
Ós rud é go n-ionsúnn gach substaint, lena n-áirítear aer, solas ultraivialait mhór (EUV) go héasca, ní mór do mheaisíní litagrafaíochta EUV oibriú i dtimpeallacht folúis. Ag an bpointe seo, bíonn comhoiriúnacht chomhpháirteanna an trealaimh leis an timpeallacht folúis ríthábhachtach. I bhfolús, féadfaidh ábhair gás a thuaslagadh, a dhí-ionsú agus a scaoileadh. Ní hamháin go n-ionsúnn an gás scaoilte solas EUV, rud a laghdaíonn déine agus éifeachtúlacht tarchuir an tsolais, ach féadfaidh sé lionsaí optúla a éilliú freisin. Mar shampla, is féidir le gal uisce na lionsaí a ocsaídiú, agus is féidir le hidreacarbóin sraitheanna carbóin a thaisceadh ar na lionsaí, rud a chuireann isteach go mór ar cháilíocht na litagrafaíochta.
Tá airíonna ceimiceacha cobhsaí ag eibhear agus is ar éigean a scaoileann sé gás i dtimpeallacht folúis. De réir tástála gairmiúla, i dtimpeallacht folúis meaisín fótailigrafaíochta insamhalta (amhail an timpeallacht folúis thar a bheith glan ina bhfuil an córas optúil soilsithe agus an córas optúil íomháithe sa phríomhsheomra suite, a éilíonn H₂O < 10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa), tá an ráta asgáis ó bhonn an eibhir thar a bheith íseal, i bhfad níos ísle ná ráta ábhair eile amhail miotail. Cuireann sé seo ar chumas taobh istigh an mheaisín fótailigrafaíochta céim ard folúis agus glaineachta a choinneáil ar feadh i bhfad, rud a chinntíonn tarchur ard solais EUV le linn tarchuir agus timpeallacht úsáide thar a bheith glan do lionsaí optúla, rud a shíneann saolré seirbhíse an chórais optúil, agus a fheabhsaíonn feidhmíocht fhoriomlán an mheaisín fótailigrafaíochta.
Friotaíocht láidir chreathadh agus cobhsaíocht theirmeach
Le linn an phróisis fótailigrafaíochta, éilíonn an cruinneas ag leibhéal an nanaiméadar nach mbeadh an creathadh ná an dífhoirmiú teirmeach is lú ar an meaisín fótailigrafaíochta. Féadfaidh creathadh comhshaoil a ghintear trí oibriú trealaimh eile agus gluaiseacht pearsanra sa cheardlann, chomh maith leis an teas a tháirgeann an meaisín fótailigrafaíochta féin le linn oibríochta, cur isteach ar chruinneas na fótailigrafaíochta. Tá dlús ard agus uigeacht chrua ag eibhear, agus tá friotaíocht chreathadh den scoth aige. Tá a struchtúr criostail mianraí inmheánach dlúth, rud a fhéadann fuinneamh creatha a mhaolú go héifeachtach agus iomadú creatha a chosc go tapa. Léiríonn sonraí turgnamhacha, faoin bhfoinse creatha céanna, gur féidir leis an mbonn eibhear aimplitiúid an chreathadh a laghdú níos mó ná 90% laistigh de 0.5 soicind. I gcomparáid leis an mbonn miotail, is féidir leis an trealamh a athbhunú go cobhsaíocht níos tapúla, ag cinntiú an tsuímh choibhneasta chruinn idir lionsa na fótailigrafaíochta agus an sceallóg, agus ag seachaint doiléiriú patrún nó mí-ailíniú de bharr creathadh.
Idir an dá linn, tá comhéifeacht leathnú teirmeach eibhir thar a bheith íseal, thart ar (4-8) ×10⁻⁶/℃, atá i bhfad níos ísle ná comhéifeacht na n-ábhar miotalacha. Le linn oibriú an mheaisín fótailigrafaíochta, fiú má luainíonn an teocht inmheánach mar gheall ar fhachtóirí amhail giniúint teasa ón bhfoinse solais agus frithchuimilt ó chomhpháirteanna meicniúla, is féidir leis an mbonn eibhir cobhsaíocht tríthoiseach a choinneáil agus ní dhéanfar dífhoirmiú suntasach air mar gheall ar leathnú agus crapadh teirmeach. Soláthraíonn sé tacaíocht chobhsaí agus iontaofa don chóras optúil agus don ardán gluaiseachta beachtais, ag cothabháil comhsheasmhacht chruinneas na fótailigrafaíochta.
Am an phoist: 20 Bealtaine 2025