I réimsí ar nós déantúsaíocht leathsheoltóirí agus ionstraimí tomhais beachtais, is é cruinneas ardáin bheachtais eibhir a chinneann cáilíocht oibríochtúil an trealaimh go díreach. Chun a chinntiú go gcomhlíonann cruinneas an ardáin na caighdeáin, ba cheart iarrachtaí a dhéanamh ó dhá ghné: braiteadh príomhtháscairí agus comhlíonadh noirm chaighdeánacha.
Brath táscaire croí: Rialú iltoiseach ar chruinneas
Brath cothromaíochta: "Cothromaíocht" an eitleáin tagartha a chinneadh
Is í an cothromaíocht príomhtháscaire ardáin chruinneas eibhir, agus is gnách go ndéantar í a thomhas le hidirfhearaiméadair léasair nó leibhéil leictreonacha. Is féidir leis an idirfhearaiméadar léasair na tonnta beaga bídeacha ar dhromchla an ardáin a thomhas go beacht trí bhíoma léasair a astú agus prionsabal an trasnaíochta solais a úsáid, le cruinneas a shroicheann an leibhéal fo-mhicróm. Déanann an leibhéal leictreonach tomhas trí bhogadh arís agus arís eile agus tarraingíonn sé léarscáil imlíne tríthoiseach de dhromchla an ardáin chun a bhrath an bhfuil aon bhrúiteáin nó dúlagar áitiúla ann. Mar shampla, ceanglaítear ar na hardáin eibhir a úsáidtear i meaisíní fótailithografaíochta leathsheoltóra cothromaíocht ±0.5μm/m a bheith acu, rud a chiallaíonn nach mó ná leathmhicriméadar an difríocht airde laistigh de fhad 1 mhéadar. Ní féidir an caighdeán dian seo a chinntiú ach amháin trí threalamh braite ardchruinneas.
2. Brath díreach: Cinntigh "díreach" na gluaiseachta líneach
I gcás ardáin a iompraíonn páirteanna gluaisteacha beachta, tá an dhíreacht ríthábhachtach. Is iad an modh sreinge nó an coiliméadar léasair na modhanna coitianta le haghaidh braite. Baineann an modh sreinge le sreanga cruach ardchruinneas a chrochadh agus an bhearna idir dromchla an ardáin agus na sreanga cruach a chur i gcomparáid chun an dhíreacht a chinneadh. Úsáideann an coiliméadar léasair tréithe iomadú líneacha léasair chun earráid líneach dhromchla suiteála ráille treorach an ardáin a bhrath. Mura gcomhlíonann an dhíreacht an caighdeán, cuirfidh sé faoi deara go mbogfaidh an trealamh le linn gluaiseachta, rud a théann i bhfeidhm ar chruinneas na próiseála nó an tomhais.
3. Brath garbh dromchla: Cinntigh "míne" an teagmhála
Bíonn tionchar ag garbhúlacht dhromchla an ardáin ar oiriúnacht suiteála na gcomhpháirte. Go ginearálta, úsáidtear méadar garbhúlachta stíle nó micreascóp optúil chun an bhrath a dhéanamh. Taifeadann an ionstraim de chineál stíle athruithe airde an phróifíl mhicreascópaigh trí theagmháil a dhéanamh le dromchla an ardáin le tóireadóir mín. Is féidir le micreascóip optúla breathnú go díreach ar uigeacht an dromchla. In iarratais ardchruinnis, ní mór garbhúlacht dhromchla ardáin eibhir a rialú ag Ra≤0.05μm, atá coibhéiseach le héifeacht scátháin, rud a chinntíonn go n-oireann comhpháirteanna beachta go docht le linn suiteála agus a sheachnaíonn creathadh nó díláithriú de bharr bearnaí.
Seo a leanas na caighdeáin bheachtais: noirm idirnáisiúnta agus rialú inmheánach an fhiontair
Faoi láthair, go hidirnáisiúnta, is iad na caighdeáin ISO 25178 agus GB/T 24632 is coitianta a úsáidtear mar bhonn chun cruinneas ardáin eibhir a chinneadh, agus tá aicmithe soiléire ann do tháscairí amhail cothromaíocht agus díreachacht. Ina theannta sin, is minic a leagann fiontair déantúsaíochta ardleibhéil caighdeáin rialaithe inmheánacha níos déine síos. Mar shampla, tá an riachtanas cothromaíochta don ardán eibhir den mheaisín fótailigrafaíochta 30% níos airde ná an caighdeán idirnáisiúnta. Agus tástálacha á ndéanamh, ba cheart na sonraí tomhaiste a chur i gcomparáid leis na caighdeáin chomhfhreagracha. Ní féidir ach le hardáin a chomhlíonann na caighdeáin go hiomlán feidhmíocht chobhsaí a chinntiú i dtrealamh beachtais.
Is tionscadal córasach é cruinneas ardáin bheachtais eibhir a iniúchadh. Ní féidir cruinneas agus iontaofacht ard an ardáin a ráthú ach amháin trí tháscairí lárnacha amhail cothromaíocht, díreachacht agus garbhúlacht dromchla a thástáil go docht, agus cloí le caighdeáin idirnáisiúnta agus fiontraíochta, rud a leagann bunchloch láidir do réimsí déantúsaíochta ardleibhéil amhail leathsheoltóirí agus ionstraimí beachtais.
Am an phoist: 21 Bealtaine 2025