1. Cruinneas toisí
Cothrom: ba cheart go mbeadh caighdeán an-ard ag dromchla an bhoinn, agus níor cheart go mbeadh an earráid chothrom níos mó ná ±0.5μm in aon limistéar 100mm × 100mm; Maidir leis an eitleán bonn iomlán, rialaítear an earráid chothrom laistigh de ±1μm. Cinntíonn sé seo gur féidir príomhchodanna trealaimh leathsheoltóra, amhail ceann nochta an trealaimh litagrafaíochta agus tábla tóireadóir an trealaimh braite sceallóga, a shuiteáil agus a oibriú go cobhsaí ar eitleán ardchruinneas, cruinneas an chosáin optúil agus nasc ciorcaid an trealaimh a chinntiú, agus diall díláithrithe na gcomhpháirteanna de bharr eitleáin míchothrom an bhoinn a sheachaint, rud a théann i bhfeidhm ar chruinneas monaraíochta agus braite sceallóga leathsheoltóra.
Díreach: Tá díreach gach imeall den bhonn ríthábhachtach. I dtreo an fhaid, ní rachaidh an earráid dhíreach thar ±1μm in aghaidh an 1m; rialaítear an earráid dhíreach trasnánach laistigh de ±1.5μm. Ag glacadh meaisín litagrafaíochta ardchruinneas mar shampla, nuair a ghluaiseann an bord feadh ráille treorach an bhoinn, bíonn tionchar díreach ag díreach imeall an bhoinn ar chruinneas trajectory an bhoird. Mura bhfuil an díreach suas leis an gcaighdeán, déanfar patrún na litagrafaíochta a shaobhadh agus a dhífhoirmiú, rud a laghdóidh toradh monaraíochta na sceallóga.
Comhthreomhaireacht: Ba cheart earráid chomhthreomhaireachta dhromchlaí uachtaracha agus íochtaracha an bhoinn a rialú laistigh de ±1μm. Is féidir le comhthreomhaireacht mhaith cobhsaíocht lár an domhantarraingthe iomláin a chinntiú tar éis an trealamh a shuiteáil, agus go bhfuil fórsa gach comhpháirte aonfhoirmeach. I dtrealamh monaraíochta sliseán leathsheoltóra, mura bhfuil dromchlaí uachtaracha agus íochtaracha an bhoinn comhthreomhar, claonfaidh an sliseán le linn próiseála, rud a théann i bhfeidhm ar aonfhoirmeacht an phróisis amhail greanadh agus sciath, agus dá bhrí sin a théann i bhfeidhm ar chomhsheasmhacht fheidhmíocht na sliseán.
Sa dara háit, tréithe ábhartha
Cruas: Ba chóir go mbeadh cruas ábhar bonn eibhir chomh hard le cruas Shore HS70 nó os a chionn. Is féidir leis an gcruas ard seasamh go héifeachtach in aghaidh an chaitheamh de bharr gluaiseacht agus frithchuimilte minic comhpháirteanna le linn oibriú an trealaimh, rud a chinntíonn go bhféadann an bonn méid ardchruinneas a choinneáil tar éis úsáide fadtéarmach. Sa trealamh pacáistithe sceallóga, is minic a ghlacann an lámh róbait an sceallóg agus a chuireann sí ar an mbonn, agus is féidir leis an gcruas ard atá sa bhonn a chinntiú nach mbíonn sé éasca scríobadh a dhéanamh ar an dromchla agus cruinneas ghluaiseacht na láimhe róbait a choinneáil.
Dlús: Ba chóir go mbeadh dlús an ábhair idir 2.6-3.1 g/cm³. Fágann an dlús cuí go bhfuil cobhsaíocht mhaith ag an mbonn, rud a fhéadfaidh a chinntiú go bhfuil dóthain dochta ann chun tacú leis an trealamh, agus nach gcuirfidh sé deacrachtaí ar fáil maidir le suiteáil agus iompar an trealaimh mar gheall ar mheáchan iomarcach. I dtrealamh mór cigireachta leathsheoltóra, cuidíonn dlús bonn cobhsaí le tarchur creatha a laghdú le linn oibriú an trealaimh agus cruinneas braite a fheabhsú.
Cobhsaíocht theirmeach: tá comhéifeacht leathnú líneach níos lú ná 5 × 10⁻⁶/℃. Tá trealamh leathsheoltóra an-íogair d’athruithe teochta, agus tá cobhsaíocht theirmeach an bhoinn bainteach go díreach le cruinneas an trealaimh. Le linn an phróisis litagrafaíochta, is féidir le luaineachtaí teochta leathnú nó crapadh an bhoinn a chur faoi deara, rud a fhágann diall i méid an phatrúin nochta. Is féidir leis an mbonn eibhir le comhéifeacht leathnú líneach íseal an t-athrú méide a rialú i raon an-bheag nuair a athraíonn teocht oibriúcháin an trealaimh (20-30 ° C de ghnáth) chun cruinneas na litagrafaíochta a chinntiú.
Sa tríú háit, cáilíocht dromchla
Garbhacht: Ní sháraíonn luach Ra an gharbhachta dromchla ar an mbonn 0.05μm. Is féidir leis an dromchla thar a bheith réidh ionsú deannaigh agus eisíontais a laghdú agus an tionchar ar ghlanacht thimpeallacht déantúsaíochta sliseanna leathsheoltóra a laghdú. Sa cheardlann saor ó dheannach i ndéantúsaíocht sliseanna, is féidir le cáithníní beaga lochtanna amhail gearrchiorcad na sliseanna a bheith mar thoradh orthu, agus cuidíonn dromchla réidh an bhoinn le timpeallacht ghlan na ceardlainne a choinneáil agus toradh na sliseanna a fheabhsú.
Lochtanna micreascópacha: Ní cheadaítear aon scoilteanna, poill ghainimh, póir ná lochtanna eile a bheith le feiceáil ar dhromchla an bhoinn. Ag an leibhéal micreascópach, ní mó ná 3 locht a bhfuil trastomhas níos mó ná 1μm in aghaidh an cheintiméadar chearnaigh acu de réir micreascópachta leictreon. Beidh tionchar ag na lochtanna seo ar neart struchtúrach agus ar chomhréidh dhromchla an bhoinn, agus ansin ar chobhsaíocht agus ar chruinneas an trealaimh.
Ceathrú, cobhsaíocht agus friotaíocht turraing
Cobhsaíocht dhinimiciúil: Sa timpeallacht chreathaidh insamhalta a ghintear trí oibriú trealaimh leathsheoltóra (raon minicíochta creatha 10-1000Hz, aimplitiúid 0.01-0.1mm), ba cheart díláithriú creatha na bpríomhphointí gléasta ar an mbonn a rialú laistigh de ±0.05μm. Ag glacadh trealamh tástála leathsheoltóra mar shampla, má tharchuirtear creathadh an fheiste féin agus creathadh an chomhshaoil máguaird chuig an mbonn le linn oibríochta, d’fhéadfadh cur isteach ar chruinneas an chomhartha tástála. Is féidir le dea-chobhsaíocht dhinimiciúil torthaí tástála iontaofa a chinntiú.
Friotaíocht seismeach: Ní mór feidhmíocht seismeach den scoth a bheith ag an mbonn, agus is féidir leis an bhfuinneamh creatha a mhaolú go tapa nuair a bhíonn sé faoi réir creathadh seachtrach tobann (amhail creathadh insamhalta tonnta seismeacha), agus a chinntiú go n-athraíonn suíomh coibhneasta phríomhchodanna an trealaimh laistigh de ±0.1μm. I monarchana leathsheoltóra i gceantair atá seans maith go dtarlóidh crith talún, is féidir le boinn atá frithsheasmhach in aghaidh crith talún trealamh leathsheoltóra costasach a chosaint go héifeachtach, rud a laghdaíonn an baol damáiste trealaimh agus cur isteach ar tháirgeadh mar gheall ar chreathadh.
5. Cobhsaíocht cheimiceach
Friotaíocht creimeadh: Ba chóir go seasfadh bonn eibhir creimeadh na ngnáthghníomhairí ceimiceacha sa phróiseas monaraíochta leathsheoltóra, amhail aigéad hidrofluarach, aqua regia, etc. Tar éis sáithithe i dtuaslagán aigéad hidrofluarach le codán maise de 40% ar feadh 24 uair an chloig, ní rachaidh an ráta caillteanais cáilíochta dromchla thar 0.01%; sáithithe in aqua regia (cóimheas toirte aigéad hidreaclórach le haigéad nítreach 3:1) ar feadh 12 uair an chloig, agus níl aon rian soiléir creimeadh ar an dromchla. Baineann próiseas greanta agus glantacháin cheimiceacha éagsúla leis an bpróiseas monaraíochta leathsheoltóra, agus is féidir le dea-fhriotaíocht creimeadh an bhoinn a chinntiú nach ndéantar creimeadh ar úsáid fhadtéarmach sa timpeallacht cheimiceach, agus go gcoimeádtar an cruinneas agus an tsláine struchtúrach.
Frith-thruailliú: Tá ionsú thar a bheith íseal ag an ábhar bonn ar thruailleáin choitianta i dtimpeallacht déantúsaíochta leathsheoltóra, amhail gáis orgánacha, iain miotail, srl. Nuair a chuirtear i dtimpeallacht ina bhfuil 10 PPM de gháis orgánacha (m.sh., beinséin, tolúéin) agus 1 ppm d'ian miotail (m.sh., iain chopair, iain iarainn) ar feadh 72 uair an chloig é, is beag athrú feidhmíochta a eascraíonn as ionsú truailleán ar dhromchla an bhoinn. Cuireann sé seo cosc ar thruailleáin imirce ón dromchla bonn go dtí an limistéar déantúsaíochta sceallóga agus difear a dhéanamh do cháilíocht na sceallóga.
Am an phoist: 28 Márta 2025