I réimse na déantúsaíochta leathsheoltóirí, a shaothraíonn cruinneas deiridh, tá an chomhéifeacht leathnúcháin theirmigh ar cheann de na príomhpharaiméadair a mbíonn tionchar acu ar cháilíocht táirgí agus ar chobhsaíocht táirgthe. Le linn an phróisis ar fad ó fhótalithagrafaíocht, greanadh go pacáistiú, is féidir leis na difríochtaí i gcomhéifeachtaí leathnúcháin theirmeacha ábhar cur isteach ar chruinneas déantúsaíochta ar bhealaí éagsúla. Mar sin féin, is í an bonn eibhir, lena chomhéifeacht leathnúcháin theirmigh thar a bheith íseal, an eochair chun an fhadhb seo a réiteach.
Próiseas litagrafaíochta: Is cúis le dífhoirmiú teirmeach diall patrún
Is céim lárnach i ndéantúsaíocht leathsheoltóirí í an fhótalithagrafaíocht. Trí mheaisín fótlithagrafaíochta, aistrítear na patrúin chiorcaid ar an masc chuig dromchla an tsliabh atá brataithe le fótafhriotaíocht. Le linn an phróisis seo, tá tábhacht ríthábhachtach leis an mbainistíocht theirmeach taobh istigh den mheaisín fótlithagrafaíochta agus le cobhsaíocht an bhoird oibre. Glac ábhair mhiotail thraidisiúnta mar shampla. Is é a gcomhéifeacht leathnúcháin theirmigh ná thart ar 12 × 10⁻⁶/℃. Le linn oibriú an mheaisín fótlithagrafaíochta, cuirfidh an teas a ghineann an fhoinse solais léasair, lionsaí optúla agus comhpháirteanna meicniúla faoi deara go n-ardóidh teocht an trealaimh 5-10 ℃. Má úsáideann bord oibre an mheaisín litagrafaíochta bonn miotail, féadfaidh bonn 1 mhéadar ar fhad dífhoirmiú leathnúcháin 60-120 μm a chur faoi deara, rud a fhágfaidh go n-athróidh an suíomh coibhneasta idir an masc agus an sliabh.
I bpróisis déantúsaíochta ardleibhéil (amhail 3nm agus 2nm), níl ach cúpla nanaiméadar idir an trasraitheoir. Is leor dífhoirmiú teirmeach chomh beag sin chun patrún na fótailithagrafaíochta a mhí-ailíniú, rud a fhágann go mbíonn naisc neamhghnácha trasraitheoirí, gearrchiorcaid nó ciorcaid oscailte, agus fadhbanna eile, rud a fhágann go dteipeann ar fheidhmeanna sliseanna go díreach. Tá comhéifeacht leathnú teirmeach bhunús an eibhir chomh híseal le 0.01μm/°C (i.e., (1-2) ×10⁻⁶/℃), agus níl an comhéifeacht leathnúcháin theirmeach faoin athrú teochta céanna ach 1/10-1/5 de dhífhoirmiú miotail. Is féidir leis ardán ualaigh chobhsaí a sholáthar don mheaisín fótailithagrafaíochta, rud a chinntíonn aistriú beacht an phatrúin fótailithagrafaíochta agus a fheabhsaíonn toradh déantúsaíochta sliseanna go suntasach.
Greanadh agus taisceadh: Bíonn tionchar acu ar chruinneas tríthoiseach an struchtúir
Is iad an greanadh agus an taisceadh na príomhphróisis chun struchtúir chiorcaid tríthoiseacha a thógáil ar dhromchla an tsaiféir. Le linn an phróisis ghreantála, téann an gás imoibríoch faoi imoibriú ceimiceach le hábhar dromchla an tsaiféir. Idir an dá linn, gineann comhpháirteanna amhail an soláthar cumhachta RF agus rialú sreafa gáis taobh istigh den trealamh teas, rud a fhágann go n-ardóidh teocht an tsaiféir agus comhpháirteanna an trealaimh. Mura bhfuil comhéifeacht leathnú teirmeach iompróra an tsaiféir nó bonn an trealaimh ag teacht le comhéifeacht leathnú teirmeach an tsaiféir (tá comhéifeacht leathnú teirmeach ábhar sileacain thart ar 2.6 × 10⁻⁶/℃), ginfear strus teirmeach nuair a athraíonn an teocht, rud a d'fhéadfadh scoilteanna beaga nó lúbadh a chur faoi deara ar dhromchla an tsaiféir.
Beidh tionchar ag an gcineál seo dífhoirmithe ar dhoimhneacht an ghreantála agus ar ingearach an bhalla taobh, rud a fhágfaidh go n-imeoidh toisí na gclaiseanna greanta, na bpoll trí agus struchtúr eile ó na ceanglais dearaidh. Ar an gcaoi chéanna, sa phróiseas taiscthe scannáin tanaí, féadfaidh an difríocht i leathnú teirmeach strus inmheánach a chur faoi deara sa scannán tanaí taiscthe, rud a fhágann fadhbanna amhail scoilteadh agus feannadh an scannáin, rud a théann i bhfeidhm ar fheidhmíocht leictreach agus ar iontaofacht fhadtéarmach an tslis. Is féidir le húsáid bunáiteanna eibhir le comhéifeacht leathnú teirmeach cosúil le comhéifeacht leathnú teirmeach ábhar sileacain strus teirmeach a laghdú go héifeachtach agus cobhsaíocht agus cruinneas na bpróiseas greanta agus taiscthe a chinntiú.
Céim an phacáistithe: Is cúis le fadhbanna iontaofachta mí-oiriúnachta teirmeach
I gcéim an phacáistithe leathsheoltóra, tá comhoiriúnacht na gcomhéifeachtaí leathnúcháin theirmeacha idir an tslis agus an t-ábhar pacáistithe (amhail roisín eapocsa, criadóireacht, srl.) ríthábhachtach. Tá comhéifeacht leathnúcháin theirmeach sileacain, croí-ábhar na sceallóga, sách íseal, agus tá comhéifeacht leathnúcháin theirmeach fhormhór na n-ábhar pacáistithe sách ard. Nuair a athraíonn teocht na slise le linn úsáide, tarlóidh strus teirmeach idir an tslis agus an t-ábhar pacáistithe mar gheall ar mhí-oiriúnú na gcomhéifeachtaí leathnúcháin theirmeacha.
Is féidir leis an strus teirmeach seo, faoi thionchar timthriallta teochta arís agus arís eile (amhail an téamh agus an fuarú le linn oibriú na slise), scoilteadh tuirse sna hailt sádrála idir an slise agus an tsubstráit phacáistithe a bheith mar thoradh air, nó titim na sreanga nasctha ar dhromchla na slise a chur as, rud a fhágann go dteipeann ar an nasc leictreach den slise sa deireadh. Trí ábhair tsubstráit phacáistithe a roghnú a bhfuil comhéifeacht leathnúcháin theirmeach acu atá gar do chomhéifeacht leathnúcháin na n-ábhar sileacain agus ardáin tástála eibhir a úsáid a bhfuil cobhsaíocht theirmeach den scoth acu chun cruinneas a bhrath le linn an phróisis phacáistithe, is féidir fadhb an neamhoiriúnaithe theirmigh a laghdú go héifeachtach, iontaofacht an phacáistithe a fheabhsú, agus saol seirbhíse na slise a fhadú.
Rialú timpeallachta táirgthe: Cobhsaíocht chomhordaithe trealaimh agus foirgneamh monarchan
Chomh maith le tionchar díreach a imirt ar an bpróiseas monaraíochta, tá baint ag an gcomhéifeacht leathnúcháin theirmigh le rialú comhshaoil foriomlán monarchana leathsheoltóra freisin. I gceardlanna móra táirgthe leathsheoltóra, is féidir le fachtóirí amhail tús agus stad córas aerchóirithe agus diomailt teasa braislí trealaimh luaineachtaí i dteocht an chomhshaoil a chur faoi deara. Má tá comhéifeacht leathnúcháin theirmigh urlár na monarchan, bunáiteanna trealaimh agus bonneagair eile ró-ard, cuirfidh athruithe teochta fadtéarmacha scoilteanna ar an urlár agus aistriú bunús an trealaimh, rud a dhéanfaidh difear do chruinneas trealaimh bheachtais amhail meaisíní fótailitagrafaíochta agus meaisíní greanta.
Trí úsáid a bhaint as bunáiteanna eibhir mar thacaí trealaimh agus iad a chomhcheangal le hábhair thógála monarchan a bhfuil comhéifeachtaí leathnaithe teirmeacha ísle acu, is féidir timpeallacht táirgthe cobhsaí a chruthú, rud a laghdaíonn minicíocht calabrúcháin trealaimh agus costais chothabhála de bharr dífhoirmithe teirmeach comhshaoil, agus a chinntíonn oibriú cobhsaí fadtéarmach na líne táirgthe leathsheoltóra.
Ritheann an chomhéifeacht leathnúcháin theirmigh trí shaolré iomlán déantúsaíochta leathsheoltóirí, ó roghnú ábhar, rialú próisis go pacáistiú agus tástáil. Ní mór tionchar an leathnúcháin theirmigh a mheas go docht i ngach nasc. Soláthraíonn bunáiteanna eibhir, lena gcomhéifeacht leathnúcháin theirmigh thar a bheith íseal agus airíonna den scoth eile, bunús fisiceach cobhsaí do mhonarú leathsheoltóirí agus is ráthaíocht thábhachtach iad chun forbairt phróisis déantúsaíochta sliseanna a chur chun cinn i dtreo cruinneas níos airde.
Am an phoist: 20 Bealtaine 2025