I dtrealamh rialaithe uimhriúil CNC, cé go soláthraíonn airíonna fisiceacha eibhir bunús le haghaidh próiseála ardchruinneas, d'fhéadfadh tionchar iltoiseach a bheith ag a míbhuntáistí dúchasacha ar chruinneas próiseála, a léirítear go sonrach mar seo a leanas:
1. Lochtanna dromchla i bpróiseáil de bharr leochaileacht ábhair
Mar gheall ar nádúr sobhriste eibhir (neart comhbhrúite ard ach neart lúbthachta íseal, de ghnáth ní bhíonn an neart lúbthachta ach 1/10 go 1/20 den neart comhbhrúite) bíonn sé seans maith go mbeidh fadhbanna ann amhail scoilteadh imeall agus micrea-scoilteanna dromchla le linn próiseála.
Bíonn tionchar ag lochtanna micreascópacha ar aistriú beachtais: Agus meilt nó muilleoireacht ardchruinnis á dhéanamh, is féidir le scoilteanna beaga bídeacha ag pointí teagmhála na huirlise dromchlaí neamhrialta a chruthú, rud a fhágann go leathnaíonn earráidí díreacha comhpháirteanna tábhachtacha amhail ráillí treorach agus boird oibre (mar shampla, meathlaíonn an cothrom ó ±1μm/m go ±3~5μm/m). Déanfar na lochtanna micreascópacha seo a tharchur go díreach chuig na codanna próiseáilte, go háirithe i gcásanna próiseála amhail comhpháirteanna optúla beachtais agus iompróirí sliseog leathsheoltóra, rud a d’fhéadfadh méadú a bheith mar thoradh air i ngarbhacht dhromchla an phíosa oibre (méadaíonn luach Ra ó 0.1μm go dtí os cionn 0.5μm), rud a théann i bhfeidhm ar fheidhmíocht optúil nó ar fheidhmiúlacht na feiste.
Riosca briste tobann i bpróiseáil dhinimiciúil: I gcásanna gearrtha ardluais (amhail luas an fhearsaid > 15,000 r/nóim) nó ráta beatha > 20m/nóim, d’fhéadfadh ilroinnt áitiúil a bheith i gcomhpháirteanna eibhir mar gheall ar fhórsaí tionchair láithreacha. Mar shampla, nuair a athraíonn an péire ráille treorach treorach go tapa, is féidir le scoilteadh imeall a chur faoi deara go n-imíonn an trajectory gluaisne ón gcosán teoiriciúil, rud a fhágann titim tobann i gcruinneas an tsuímh (leathnaíonn an earráid suímh ó ±2μm go dtí níos mó ná ±10μm), agus fiú imbhualadh agus scríobadh uirlisí mar thoradh air.
Sa dara háit, caillteanas cruinnis dinimiciúil de bharr an choimhlinte idir meáchan agus déine
Is féidir leis an airí ard-dlúis atá ag eibhir (le dlús de thart ar 2.6 go 3.0g/cm³) creathadh a chosc, ach tugann sé na fadhbanna seo a leanas leis freisin:
Is cúis le moill freagartha servo an fórsa táimhe: Cuireann an fórsa táimhe a ghintear le leapacha troma eibhir (amhail leapacha móra meaisíní gantry ar féidir leo na deicheanna tonna a mheá) le linn luasghéaraithe agus luasmhoillithe iallach ar an mótar servo chasmhóimint níos mó a aschur, rud a fhágann go méadaítear an earráid rianaithe lúb suímh. Mar shampla, i gcórais ardluais atá á dtiomáint ag mótair líneacha, le haghaidh gach méadú 10% ar mheáchan, féadfaidh cruinneas an tsuímh laghdú 5% go 8%. Go háirithe i gcásanna próiseála nanoscála, is féidir leis an moill seo earráidí próiseála imlíne a bheith mar thoradh air (amhail an earráid chruinn ag méadú ó 50nm go 200nm le linn idirshuíomh ciorclach).
Is cúis le creathadh ísealmhinicíochta é easpa dochtachta: Cé go bhfuil maolú dúchasach réasúnta ard ag eibhear, tá a mhodúl leaisteach (thart ar 60 go 120GPa) níos ísle ná modúl iarainn teilgthe. Nuair a bhíonn ualaí malartacha á gcur air (amhail luaineachtaí i bhfórsa gearrtha le linn próiseála nasc il-ais), féadfaidh carnadh micrea-dhífhoirmithe tarlú. Mar shampla, i gcomhpháirt ceann luasctha ionad meaisínithe cúig-ais, is féidir le dífhoirmiú leaisteach beag bhonn an eibhir a chur faoi deara go n-athraíonn cruinneas suíomh uilleach an ais rothlaithe (amhail an earráid innéacsaithe ag leathnú ó ±5" go ±15"), rud a théann i bhfeidhm ar chruinneas meaisínithe dromchlaí cuartha casta.
III. Teorainneacha na Cobhsaíochta Teirmí agus na hÍogaireachta Comhshaoil
Cé go bhfuil comhéifeacht leathnú teirmeach eibhir (thart ar 5 go 9 × 10⁻⁶/℃) níos ísle ná comhéifeacht leathnú teirmeach iarainn teilgthe, féadfaidh sé earráidí a chur faoi deara i bpróiseáil chruinneas fós:
Is cúis le grádáin teochta dífhoirmiú struchtúrach: Nuair a oibríonn an trealamh go leanúnach ar feadh i bhfad, is féidir le foinsí teasa amhail mótar an phríomh-seafta agus córas bealaithe iarnróid treorach grádáin teochta a chruthú sna comhpháirteanna eibhir. Mar shampla, nuair a bhíonn an difríocht teochta idir dromchlaí uachtaracha agus íochtaracha an bhoird oibre 2℃, féadfaidh sé dífhoirmiú lár-dronnach nó lár-chiúrach a chur faoi deara (is féidir leis an diall 10 go 20μm a bhaint amach), rud a fhágann go dteipeann ar chomhréidh teanntáin an phíosa oibre agus go mbíonn tionchar aige ar chruinneas comhthreomhaireachta muilleoireachta nó meilt (amhail lamháltas tiús páirteanna pláta cothroma a sháraíonn ±5μm go ±20μm).
Is cúis le beagán leathnú de bharr taise chomhshaoil: Cé go bhfuil ráta ionsú uisce eibhir (0.1% go 0.5%) íseal, nuair a úsáidtear é ar feadh i bhfad i dtimpeallacht ard-taise, is féidir le méid beag ionsú uisce leathnú laitíse a bheith mar thoradh air, rud a fhágann athruithe ar imréiteach oiriúnach an phéire ráille treorach. Mar shampla, nuair a ardaíonn an taise ó 40% RH go 70% RH, féadfaidh toise líneach an ráille treorach eibhir méadú faoi 0.005 go 0.01mm/m, rud a fhágann laghdú ar réidheacht ghluaiseacht an ráille treorach sleamhnáin agus tarlú feiniméan "crágála", a théann i bhfeidhm ar chruinneas beathaithe ar leibhéal micrón.
Iv. Éifeachtaí Carnacha Earráidí Próiseála agus Tionóil
Tá deacracht phróiseála eibhir ard (tá uirlisí diamant speisialta ag teastáil, agus níl an éifeachtúlacht phróiseála ach 1/3 go 1/2 de éifeachtúlacht ábhair miotail), rud a d'fhéadfadh a bheith ina chúis le cailliúint cruinnis sa phróiseas tionóil:
Tarchur earráide próiseála ar dhromchlaí cúplála: Má bhíonn dialltaí próiseála (amhail cothromaíocht > 5μm, earráid spásála poill > 10μm) i gcodanna tábhachtacha cosúil le dromchla suiteála an iarnróid threorach agus poill tacaíochta an scriú luaidhe, beidh saobhadh ar an iarnród treorach líneach tar éis suiteála, réamh-ualach míchothrom ar an scriú liathróide, agus ar deireadh thiar beidh meath ar chruinneas an ghluaisne. Mar shampla, le linn próiseála nasc trí ais, féadfaidh an earráid ingearach de bharr saobhadh an iarnróid threorach earráid faid trasnánach an chiúib a leathnú ó ±10μm go ±50μm.
Bearna chomhéadain an struchtúir splaisithe: Is minic a ghlacann comhpháirteanna eibhir trealaimh mhóir le teicnící splaisithe (amhail splaiseadh leapa ilrannach). Má bhíonn earráidí beaga uilleacha (> 10") nó garbh-dhromchla > Ra0.8μm ar dhromchla an splaisithe, féadfaidh tiúchan struis nó bearnaí tarlú tar éis tionóil. Faoi ualach fadtéarmach, féadfaidh sé seo scíth a ligean struchtúrach agus claonadh cruinnis a chur faoi deara (amhail laghdú 2 go 5μm ar chruinneas suímh gach bliain).
Achoimre agus inspioráidí chun déileáil leo
Bíonn tionchar rúnda, carnach agus íogair ó thaobh an chomhshaoil de ag míbhuntáistí an eibhir ar chruinneas trealaimh CNC, agus ní mór aghaidh a thabhairt orthu go córasach trí mhodhanna ar nós modhnú ábhair (amhail tuiliú roisín chun déine a fheabhsú), uasmhéadú struchtúrach (amhail frámaí ilchodacha miotail-eibhir), teicneolaíocht rialaithe teirmeach (amhail fuarú uisce micreachainéil), agus cúiteamh dinimiciúil (amhail calabrú fíor-ama le intearféariméadar léasair). I réimse na próiseála beachtais nanoscála, tá sé níos riachtanaí fós rialú slabhra iomlán a dhéanamh ó roghnú ábhair, teicneolaíocht phróiseála go dtí an córas meaisín iomlán chun leas iomlán a bhaint as buntáistí feidhmíochta an eibhir agus a lochtanna dúchasacha a sheachaint.
Am an phoist: 24 Bealtaine 2025