Úsáidtear comhpháirteanna eibhir go forleathan i dtrealamh leathsheoltóra mar gheall ar a gcobhsaíocht agus a marthanacht ard. Tá siad freagrach as cruinneas agus cruinneas phróisis déantúsaíochta leathsheoltóra a choinneáil. Mar sin féin, braitheann éifeachtacht agus iontaofacht comhpháirteanna eibhir ar na caighdeáin agus na sonraíochtaí a choimeádtar le linn a ndeartha, a monaraithe agus a suiteála.
Seo a leanas cuid de na caighdeáin agus na sonraíochtaí nach mór cloí leo agus comhpháirteanna eibhir á n-úsáid i dtrealamh leathsheoltóra:
1. Dlús Ábhair: Ba chóir go mbeadh dlús an ábhair eibhir a úsáidtear i ndéantúsaíocht comhpháirteanna eibhir thart ar 2.65g/cm3. Is é seo dlús an ábhair eibhir nádúrtha, agus cinntíonn sé comhsheasmhacht agus iontaofacht in airíonna na gcomhpháirteanna eibhir.
2. Cothromaíocht: Tá an chothromaíocht ar cheann de na sonraíochtaí is ríthábhachtaí do chomhpháirteanna eibhir a úsáidtear i dtrealamh leathsheoltóra. Ba chóir go mbeadh cothromaíocht dhromchla an eibhir faoi bhun 0.001 mm/m2. Cinntíonn sé seo go bhfuil dromchla an chomhpháirte cothrom agus cothrom, rud atá riachtanach do phróisis déantúsaíochta leathsheoltóra.
3. Bailchríoch Dromchla: Ba chóir go mbeadh bailchríoch dromchla na gcomhpháirteanna eibhir d'ardchaighdeán, le garbh-dhromchla faoi bhun 0.4µm. Cinntíonn sé seo go bhfuil comhéifeacht frithchuimilte íseal ag dromchla an chomhpháirte eibhir, rud atá ríthábhachtach d'oibriú rianúil trealaimh leathsheoltóra.
4. Comhéifeacht Leathnaithe Teirmeach: Oibríonn trealamh leathsheoltóra ag teochtaí éagsúla, agus ba cheart go mbeadh comhpháirteanna eibhir in ann luaineachtaí teirmeacha a sheasamh gan dífhoirmiú. Ba cheart go mbeadh comhéifeacht leathnú teirmeach eibhir a úsáidtear i dtrealamh leathsheoltóra faoi bhun 2 x 10^-6 /°C.
5. Caoinfhulaingt Thomaiseach: Tá caoinfhulaingt thoiseach ríthábhachtach do fheidhmíocht comhpháirteanna eibhir. Ba chóir go mbeadh caoinfhulaingt thoiseach comhpháirteanna eibhir laistigh de ±0.1mm do gach toise criticiúil.
6. Cruas agus Friotaíocht in aghaidh Caitheamh: Is sonraíochtaí riachtanacha iad cruas agus friotaíocht caitheamh do chomhpháirteanna eibhir a úsáidtear i dtrealamh leathsheoltóra. Tá cruas Scála Mohs 6-7 ag eibhear, rud a fhágann gur ábhar oiriúnach é lena úsáid in iarratais trealaimh leathsheoltóra.
7. Feidhmíocht Inslithe: Ba chóir go mbeadh feidhmíocht inslithe den scoth ag comhpháirteanna eibhir a úsáidtear i dtrealamh leathsheoltóra chun damáiste do chomhpháirteanna leictreonacha íogaire a chosc. Ba chóir go mbeadh friotaíocht leictreach os cionn 10^9 Ω/cm.
8. Friotaíocht Cheimiceach: Ba chóir go mbeadh comhpháirteanna eibhir frithsheasmhach in aghaidh ceimiceán coitianta a úsáidtear i bpróisis déantúsaíochta leathsheoltóra, amhail aigéid agus alcailí.
Mar fhocal scoir, tá na caighdeáin agus na sonraíochtaí do chomhpháirteanna eibhir a úsáidtear i dtrealamh leathsheoltóra ríthábhachtach chun fad saoil agus iontaofacht na gcomhpháirteanna agus an trealaimh ina n-úsáidtear iad a chinntiú. Ba cheart cloí go docht leis na treoirlínte thuas le linn na bpróiseas deartha, monaraíochta agus suiteála chun a chinntiú go bhfuil na comhpháirteanna den chaighdeán is airde. Trí na caighdeáin agus na sonraíochtaí seo a leanúint, is féidir le monaróirí leathsheoltóra a chinntiú go bhfanann feidhmíocht a dtrealaimh is fearr is féidir, rud a fhágann go méadaítear táirgiúlacht agus brabúsacht.
Am an phoist: 20 Márta 2024