Sa nasc lárnach de mhonarú sceallóga - scanadh vaiféil, is é cruinneas an trealaimh a chinneann cáilíocht na sceallóige. Mar chomhpháirt thábhachtach den trealamh, tá aird mhór tugtha ar fhadhb leathnú teirmeach bhonn an mheaisín eibhir.
Is gnách go mbíonn comhéifeacht leathnú teirmeach eibhir idir 4 agus 8 × 10⁻⁶/℃, atá i bhfad níos ísle ná comhéifeacht leathnú teirmeach miotal agus marmair. Ciallaíonn sé seo nuair a athraíonn an teocht, nach n-athraíonn a mhéid ach beagán. Mar sin féin, ba chóir a thabhairt faoi deara nach gciallaíonn leathnú teirmeach íseal nach bhfuil aon leathnú teirmeach ann. Faoi luaineachtaí teochta foircneacha, féadfaidh fiú an leathnú is lú difear a dhéanamh do chruinneas nanoscála scanadh na vaiféil.
Le linn an phróisis scanadh vaiféir, bíonn cúiseanna iomadúla ann le leathnú teirmeach. Cuirfidh na luaineachtaí teochta sa cheardlann, an teas a ghintear trí oibriú comhpháirteanna trealaimh, agus an teocht ard meandarach a eascraíonn as próiseáil léasair faoi deara go "leathnóidh agus go gcrapfaidh" bonn an eibhir mar gheall ar athruithe teochta. Chomh luath agus a théann an bonn faoi leathnú teirmeach, féadfaidh díreachas an ráille treorach agus cothromas an ardáin imeacht, rud a fhágann go mbeidh conair ghluaiseachta míchruinn ag an mbord vaiféir. Bogfaidh na comhpháirteanna optúla tacaíochta freisin, rud a fhágann go "ndiallfaidh" an bhíoma scanadh. Má oibríonn tú go leanúnach ar feadh i bhfad, carnfar earráidí freisin, rud a fhágfaidh go mbeidh an cruinneas níos measa agus níos measa.
Ach ná bíodh imní ort. Tá réitigh ag daoine cheana féin. Maidir le hábhair, roghnófar féitheacha eibhir le comhéifeacht leathnaithe teirmeach níos ísle agus cuirfear cóireáil aosaithe orthu. Maidir le rialú teochta, rialaítear teocht na ceardlainne go beacht ag 23 ± 0.5 ℃ nó níos ísle fós, agus dearfar gléas diomailt teasa gníomhach don bhonn freisin. Maidir le dearadh struchtúrach, glactar le struchtúir shiméadracha agus tacaí solúbtha, agus déantar monatóireacht fíor-ama trí braiteoirí teochta. Déantar na hearráidí de bharr dífhoirmithe teirmeach a cheartú go dinimiciúil le halgartaim.
Coinníonn trealamh ardleibhéil ar nós meaisíní litagrafaíochta ASML, trí na modhanna seo, éifeacht leathnú teirmeach an bhoinn eibhir laistigh de raon an-bheag, rud a chuireann ar chumas cruinneas scanadh na vaiféir an leibhéal nanaiméadar a bhaint amach. Dá bhrí sin, fad is atá sé rialaithe i gceart, is rogha iontaofa é an bonn eibhir do threalamh scanadh vaiféir.
Am an phoist: 12 Meitheamh 2025