Úsáidtear bonn meaisín eibhir go forleathan sa tionscal déantúsaíochta, go háirithe sa tionscal próiseála wafer.Is cuid riachtanach den innealra é do phróiseáil éifeachtach agus cruinn na sliseog.Teastaíonn aird ar mhionsonraí agus ar shaineolas chun bonn meaisín eibhir a chur le chéile, a thástáil agus a chalabrú.San Airteagal seo, déanfaimid cur síos ar an treoir céim ar chéim maidir le bonn meaisín eibhir a chur le chéile, a thástáil agus a chalabrú le haghaidh táirgí próiseála wafer.
1. An Bonn Meaisín Eibhear a Chéile
Is é an chéad chéim chun bonn meaisín eibhir a chur le chéile ná na comhpháirteanna uile is gá a ullmhú agus a gcáilíocht a chinntiú.Féadfaidh leac eibhir, fráma alúmanaim, pillíní leibhéalta, agus boltaí a bheith i gcomhpháirteanna le haghaidh bonn meaisín eibhir.Seo na céimeanna chun bonn meaisín eibhir a chur le chéile:
Céim 1 - Cuir an leac eibhir ar dhromchla cothrom agus glan.
Céim 2 - Ceangail an fráma alúmanaim timpeall an leac eibhir ag baint úsáide as boltaí agus déan cinnte go bhfuil an fráma flush le imill an eibhir.
Céim 3 - Suiteáil na pillíní leibhéalta ar thaobh bun an fhráma alúmanaim chun a chinntiú go bhfuil bonn an mheaisín cothrom.
Céim 4 - Déan na boltaí go léir a dhéanamh níos doichte agus cinntigh go bhfuil bonn an mheaisín eibhir sturdy agus cobhsaí.
2. An Bonn Meaisín Eibhear a Thástáil
Tar éis an bonn meaisín eibhir a chur le chéile, ní mór é a thástáil chun a chinntiú go bhfuil sé ag obair i gceart.Is éard atá i gceist le tástáil bonn an mheaisín eibhir ná a leibhéal, maoile agus cobhsaíocht a sheiceáil.Seo na céimeanna chun bonn an mheaisín eibhir a thástáil:
Céim 1 - Bain úsáid as leibhéal cruinneas chun leibhéal bonn an mheaisín a sheiceáil trína chur ar phointí éagsúla den leac eibhir.
Céim 2 - Bain úsáid as imeall díreach nó pláta dromchla chun maoile bonn an mheaisín a sheiceáil trína chur ar phointí éagsúla den leac eibhir.Ba chóir go mbeadh an caoinfhulaingt maoile níos lú ná 0.025mm.
Céim 3 - Cuir ualach i bhfeidhm ar an mbonn meaisín chun a chobhsaíocht a sheiceáil.Níor cheart go gcuirfeadh an t-ualach faoi deara aon dífhoirmiúchán nó gluaiseacht i mbonn an mheaisín.
3. An Bonn Meaisín Eibhear a Chalabrú
Is éard atá i gceist le calabrú bonn an mheaisín eibhir ná cruinneas suite an mheaisín a choigeartú agus é a ailíniú le comhpháirteanna eile an mheaisín chun an fheidhmíocht is fearr a chinntiú.Seo na céimeanna chun bonn an mheaisín eibhir a chalabrú:
Céim 1 - Suiteáil na hionstraimí tomhais cosúil le ardán optúil nó córas interferometer léasair ar an mbonn meaisín eibhir.
Céim 2 - Déan sraith tástálacha agus tomhais chun earráidí agus diallais suite an mheaisín a chinneadh.
Céim 3 - Coigeartaigh paraiméadair suite an mheaisín chun na hearráidí agus na diallais a íoslaghdú.
Céim 4 - Déan seiceáil deiridh chun a chinntiú go bhfuil an bonn meaisín calabraithe i gceart, agus nach bhfuil aon earráid nó diall sna tomhais.
Conclúid
Mar fhocal scoir, tá sé ríthábhachtach bonn meaisín eibhir a chur le chéile, a thástáil agus a chalabrú le haghaidh táirgí próiseála wafer chun ardchruinneas agus cruinneas a bhaint amach sa phróiseas déantúsaíochta.Leis na comhpháirteanna, na huirlisí agus an saineolas is gá, cinnteoidh na céimeanna a thuairiscítear thuas go ndéanfar bonn an mheaisín eibhir a chur le chéile, a thástáil agus a chalabrú i gceart.Soláthróidh bonn meaisín eibhir dea-thógtha agus calabraithe torthaí éifeachtacha agus cruinne i dtáirgí próiseála wafer.
Am postála: Nov-07-2023