De réir mar a dhéanann an tionscal leathsheoltóra iarracht ionsaitheach nóid phróisis faoi bhun 2nm a bhaint amach, tá an corrlach earráide meicniúla imithe beagnach ar fad. Sa timpeallacht ardriosca seo, ní ábhar imní tánaisteach a thuilleadh cobhsaíocht an tseomra phróisis; is í an phríomh-bhac í maidir le toradh. Ag ZHHIMG, táimid ag breathnú ar athrú bunúsach ar an gcaoi a dtéann OEManna domhanda i ngleic le sláine struchtúrach trealaimh chaipitil leathsheoltóra.
Fisic na Ciúine: Teicnící Maolaithe Creathadh Ardleibhéil
I ndéantúsaíocht nua-aimseartha vaiféir, bíonn creathadh a measadh tráth a bheith ina “torann cúlra” tubaisteach anois. Cibé acu is micrea-luaineachtaí ó chóras HVAC saoráide nó táimhe inmheánach céim scanadh ardluais atá i gceist, aistríonn fuinneamh neamhrialaithe go díreach chuig earráidí forleagan agus patrúin doiléire.
Tá teicnící reatha maolaithe creatha i ndéantúsaíocht leathsheoltóirí tar éis teacht chun cinn ina hailtireacht ilchisealach. Cé gurb é an maolú éighníomhach - ag baint úsáide as ábhair ardmhaise cosúil le réitigh mianraí nó eibhear beachtais - an bunús fós, táimid ag feiceáil borradh i gcomhtháthú maolaithe gníomhaí.
Úsáideann córais ghníomhacha gníomhaitheoirí piezoileictreacha agus braiteoirí fíor-ama chun creathadh a “chealú” trí fhrithmhinicíochtaí a ghiniúint. Mar sin féin, tá éifeachtacht na gcóras gníomhach teoranta go bunúsach ag cóimheas maolaithe an ábhair bhunúsaigh. Seo an áit a bhfuil saineolas ZHHIMG in ábhair struchtúracha ard-mhaolú ríthábhachtach. Trí leictreonaic ghníomhach a chomhcheangal le bonn eibhir nó ilchodach atá támh go nádúrtha, soláthraímid “Crios Ciúin” inar féidir nana-shuíomh a dhéanamh gan cur isteach.
Ardú na Gluaiseachta Gan Frithchuimilt: Teicneolaíocht Imthacaí Aeir
Tá an t-éileamh ar tháirgeacht níos airde tar éis imthacaí meicniúla traidisiúnta a bhrú go dtí a dteorainneacha. Bíonn teas mar thoradh ar fhrithchuimilt, agus bíonn leathnú teirmeach mar thoradh ar theas—namhaid an chruinnis. Mar thoradh air sin, glacadh forleathan leteicneolaíocht imthacaí aeir le haghaidh céimeanna beachtais.
Tacaíonn imthacaí aeir le hualach ar scannán tanaí d’aer brúite, nach mbíonn ach cúpla miocrón ar tiús de ghnáth. Ós rud é nach bhfuil aon teagmháil fhisiciúil ann, níl aon fhrithchuimilt statach (stiction) ann. Fágann sé seo go bhfuil:
-
Gluaiseacht Saor ó Histéiréis: A chinntiú go bhfilleann an stáitse ar an gcomhordanáid nanaiméadar chéanna gach uair.
-
Seasmhacht Treoluas: Tá sé ríthábhachtach d’fheidhmchláir scanadh amhail cigireacht E-bhíoma áit a gcuirfeadh fiú an “cogging” is lú ar imthacaí meicniúil saobhadh ar an íomhá.
-
Fad saoil thar na bearta: Ós rud é nach bhfuil aon chodanna ag teagmháil lena chéile, níl aon chaitheamh ná aon ghiniúint cáithníní ann, rud a fhágann go bhfuil siad oiriúnach do thimpeallachtaí seomraí glana Aicme 1.
Ag ZHHIMG, déanaimid monarú ar na dromchlaí eibhir thar a bheith cothrom a fheidhmíonn mar threoracha do na himthacaí aeir seo. Chun go bhfeidhmeoidh siad i gceart, ní mór na dromchlaí seo a líonadh go dtí go mbeidh siad cothrom agus go dtomhaistear iad i gcodáin de thonnfhad solais.
Treochtaí i dTrealamh Caipitil Leathsheoltóra: 2026 agus níos faide anonn
De réir mar a théimid trí 2026, antreochtaí i dtrealamh caipitil leathsheoltóraatá tréithrithe ag “Na Trí Cholún”: Modúlú, Inbhuanaitheacht, agus Rialú Teirmeach.
-
Dearadh Ardáin Modúlach: Tá OEManna ag lorg modúil bonn “breiseán-agus-imirt”. In ionad bonn nua a dhearadh do gach uirlis, tá siad ag baint úsáide as bunchlocha beachtais ZHHIMG caighdeánaithe ar féidir iad a oiriúnú le haghaidh litagrafaíochta, meitreolaíochta, nó greanadh.
-
Bainistíocht Theirmeach: Ós rud é go ngineann foinsí solais EUV (Ultraivialait Thar a Bheith Foircneach) teas ollmhór, ní mór don bhonn meaisín gníomhú mar doirteal teasa ollmhór. Táimid ag comhtháthú bealaí fuaraithe casta go díreach inár gcomhpháirteanna mianraí agus eibhir chun delta $<0.01^\circ\text{C}$ a choinneáil.
-
Comhoiriúnacht Folúis: Le níos mó próiseas ag bogadh isteach i dtimpeallachtaí ard-fholús, ní mór nach mbeidh aon ghásáil ag baint leis na hábhair a úsáidtear. Cinntíonn ár bpróiseáil speisialaithe eibhir agus ceirmeach nach ndéanann an bunús struchtúrach dochar do shláine an fholús.
Comhpháirtíocht Straitéiseach le ZHHIMG
Ní monaróir comhpháirteanna amháin atá i ZHHIMG; is comhpháirtí straitéiseach muid i slabhra soláthair rialaithe gluaisne. Oibríonn ár saoráid sa tSín i ndlúthchomhar le foirne innealtóireachta i Silicon Valley agus Eindhoven chun na dúshláin chobhsaíochta is deacra sa tionscal a réiteach.
Trí úsáid a bhaint as ár dteicnící lapála dílseánaigh agus ár dtuiscint dhomhain arteicnící maolaithe creathadh, cuirimid ar chumas ár gcliaint teorainneacha Dhlí Moore a shárú. Cibé an bhfuil uirlis ALD (Atomic Layer Deposition) den chéad ghlúin eile nó braiteoir vaiféir ardluais á fhorbairt agat, tosaíonn an dúshraith le ZHHIMG.
Conclúid
Is rás in aghaidh dhlíthe na fisice é éabhlóid na déantúsaíochta leathsheoltóirí. De réir mar a ghluaiseann an tionscal i dtreo 2026, ní dhéanfaidh an fócas ar chruinneas imthacaí aeir agus maolú chun cinn ach dul i méid. Chun fanacht chun tosaigh ar na treochtaí seo, teastaíonn bunús - go litriúil agus go figiúrúil araon - atá bunaithe ar shaineolas agus ar nuálaíocht.
Am an phoist: 26 Eanáir 2026